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馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 近边缘卷曲(ero)
  • 1 篇 键合
  • 1 篇 近边缘曲率
  • 1 篇 近边缘局部平整度

机构

  • 1 篇 有研半导体硅材料...
  • 1 篇 有研科技集团有限...
  • 1 篇 山东省硅单晶半导...
  • 1 篇 北京有色金属研究...

作者

  • 1 篇 宁永铎
  • 1 篇 摆易寒
  • 1 篇 王新
  • 1 篇 周旗钢
  • 1 篇 张果虎

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=近边缘曲率"
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硅片近边缘形态的研究进展
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稀有金属 2024年 第2期48卷 254-261页
作者： 摆易寒 周旗钢 宁永铎 王新 张果虎 有研科技集团有限公司集成电路关键材料国家工程研究中心 北京100088 有研半导体硅材料股份公司 北京100088 北京有色金属研究总院 北京100088 山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室 山东德州253000
关于硅片近边缘形态已有的研究主要集中在评价方法、工艺改进以及加工装置上。国际半导体产业协会(SEMI)标准量化评价硅片近边缘形态,约定了有关硅片近边缘卷曲度(ROA)、近边缘曲率、近边缘局部平整度、近边缘不完整区域局部平整度的评... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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