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主题

  • 1 篇 超薄多晶硅薄膜
  • 1 篇 压阻特性
  • 1 篇 应变系数
  • 1 篇 铝诱导层交换

机构

  • 1 篇 华南师范大学
  • 1 篇 兰州交通大学

作者

  • 1 篇 邢达
  • 1 篇 马军
  • 1 篇 刘颂豪
  • 1 篇 范多旺
  • 1 篇 王成龙

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=超薄多晶硅薄膜"
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铝诱导层交换超薄多晶硅薄膜制备及压阻特性
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光谱学与光谱分析 2015年 第2期35卷 474-478页
作者： 王成龙 马军 范多旺 邢达 刘颂豪 兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心 甘肃兰州730070 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室 甘肃兰州730070 华南师范大学信息光电子科技学院 广东广州510631
超薄多晶硅薄膜具有优异的压敏特性。铝诱导层交换(ALILE)制备多晶硅薄膜具有成膜温度低薄膜性能优良等特点。利用ALILE方法在玻璃基底上低温条件下制备了50nm超薄多晶硅(poly-Si)薄膜,并对薄膜微观结构及压阻特性进行了研究。Raman光谱... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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