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1Cr18Ni9Ti不锈钢氮离子注入层超显微硬度的研究

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金属学报 1994年第3期30卷 B140-B144页

作者：杨安静蔡亦炜陈秋龙上海交通大学

应用超显微硬度计测定１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度，并用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪及高精度轮廊仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度。结果表明，在９０ｋｅＶ，３×１０＾１７Ｎ＾＋／ｃｍ＾２注入时，其注入层深... 详细信息

应用超显微硬度计测定１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度，并用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪及高精度轮廊仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度。结果表明，在９０ｋｅＶ，３×１０＾１７Ｎ＾＋／ｃｍ＾２注入时，其注入层深度为０．１８μｍ，用１ｍＮ载荷测得本征硬度ＨＶ为３．４７ＧＰａ，比非注入态表面硬度提高三倍之多，合理的试验载荷应≤１ｍ（０．１ｇ）。

关键词：离子注入超显微硬度不锈钢

1Cr18Ni9Ti不锈钢氮离子注入层超显微硬度的研究

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金属学报 1994年第15期 140-144页

作者：杨安静蔡亦炜陈秋龙上海交通大学

应用超显微硬度计测定１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度，并用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪(ＡＥＳ)及高精度轮廓仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度．结果表明：在９０ｋｅＶ，３ｘ１０~１７Ｎ＋／ｃｍ~２注入时．共注入... 详细信息

应用超显微硬度计测定１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ奥氏体不锈钢氮离子注入层的硬度，并用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪(ＡＥＳ)及高精度轮廓仪测定氮离子注入层氮浓度分布及深度．结果表明：在９０ｋｅＶ，３ｘ１０~１７Ｎ＋／ｃｍ~２注入时．共注入层深度为０．１８μｍ、用１ｍＮ载荷侧得本征硬度ＨＶ为３．４７ＧＰａ，比非注入态表面硬度提高三倍之多，合理的试验载荷应≤ｌｍＮ(０．１ｇ)．

关键词： lCr18Ni9Ti 离子注入超显微硬度

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边缘凸起式超显微硬度压痕的共聚焦测量

光学精密工程 2021年第5期29卷 1014-1023页

作者：石伟张凯林侯晓东中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所北京100095 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191 东莞材料基因高等理工研究院应力测量技术研究所广东东莞523808

为了精确测量边缘产生凸起的超显微硬度压痕,采用高分辨率且能获得压痕三维形貌的激光扫描共聚焦显微镜,获得压痕边缘复杂的三维凸起结构。对压痕的三维形貌数据进行分析,利用压痕对角线方法提取压痕的4个角点,计算超显微硬度。然而,压... 详细信息

为了精确测量边缘产生凸起的超显微硬度压痕,采用高分辨率且能获得压痕三维形貌的激光扫描共聚焦显微镜,获得压痕边缘复杂的三维凸起结构。对压痕的三维形貌数据进行分析,利用压痕对角线方法提取压痕的4个角点,计算超显微硬度。然而,压痕对角线法并不能反映残余压痕的复杂结构,尤其是边缘凸起结构。在测量压痕三维形貌的基础上,为寻找更符合接触力学和压痕形成规律的压头与试样的接触面积,提出了基准平面的概念。通过对压痕面积函数进行微分,寻找最优的基准平面位置,既考虑压痕的边缘凸起,也能很好地反映接触面积。实验结果表明,通过接触力学规律寻找到的最优基准平面测量硬度,其测量误差小于±1.5%、稳定性小于1%。基准平面法可以稳定且准确地得到更符合硬度定义的硬度值。

关键词：共聚焦显微镜凸起式超显微硬度接触力学基准平面

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离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度

理化检验（物理分册） 1995年第6期31卷 31-32页

作者：周平南王建锋蔡珣上海交通大学 200030

利用测试负荷小于10_(-2)N的UMHT-3型超显微硬度测量仪,测试了不同厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细讨论了薄膜和基底对硬度测试的影响,并提出了临界负荷的概念。只有当测试负荷小于临界负荷时,才能获得薄膜的真实硬度。对... 详细信息

利用测试负荷小于10_(-2)N的UMHT-3型超显微硬度测量仪,测试了不同厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细讨论了薄膜和基底对硬度测试的影响,并提出了临界负荷的概念。只有当测试负荷小于临界负荷时,才能获得薄膜的真实硬度。对三种不同厚度的氮化硅薄膜,给出了相应的临界负荷值。

关键词：超显微硬度氮化硅薄膜离子束增强

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SiC_p/LD2复合材料的微区力学性能

中国有色金属学报 1999年第4期9卷 748-751页

作者：秦蜀懿刘澄陈嘉颐王文龙张国定上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030

用ＵＭＨＴ３型超显微硬度仪测试ＳｉＣｐ／ＬＤ２复合材料界面附近基体中的硬度值，结果表明，由于热膨胀系数差异，复合材料中的热残余应力超过基体的屈服极限，导致界面附近基体内存在热残余应变，并使基体应变硬化，因而... 详细信息

用ＵＭＨＴ３型超显微硬度仪测试ＳｉＣｐ／ＬＤ２复合材料界面附近基体中的硬度值，结果表明，由于热膨胀系数差异，复合材料中的热残余应力超过基体的屈服极限，导致界面附近基体内存在热残余应变，并使基体应变硬化，因而超显微硬度值的变化可以反映热残余应变的分布状况。界面附近基体的超显微硬度随颗粒尺寸、距界面的距离和颗粒的尖锐程度而变化，与有关复合材料中热残余应变分布的计算结果吻合。

关键词：金属基复合材料超显微硬度热残余应力

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金属基复合材料微区力学性能的不均匀现象

材料研究学报 1997年第1期11卷 21-24页

作者：张国定陈煜刘澄上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海市200030 上海交通大学

利用超显微硬度仪测量纤维、颗粒增强铝基复合材料内不同微区的超显微硬度，发现界面区附近越显微硬度值明显增高．显微硬度值与基体、增强体的性质、界面性能、增强体的尺寸、形状、分布有密切关系．

关键词：金属基复合材料超显微硬度

Ti-B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究

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真空科学与技术 1998年第3期18卷 170-175页

作者：杨晓豫蔡珣李莹周平南上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室上海200030

采用离子束增强沉积方法，在p型（100）单晶硅衬底上，通过不同能量的氙离子辅助轰击，以不同的沉积速率制备了Ti－B超硬薄膜。X射线衍射分析结果表明，Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构，其晶化程度随蒸发速率的不同而变化，而其缺位值x随氙离... 详细信息

采用离子束增强沉积方法，在p型（100）单晶硅衬底上，通过不同能量的氙离子辅助轰击，以不同的沉积速率制备了Ti－B超硬薄膜。X射线衍射分析结果表明，Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构，其晶化程度随蒸发速率的不同而变化，而其缺位值x随氙离子轰击能量的不同而变化。超显微硬度的测试结果表明，氙离子束能量为60keV，沉积速率为0．6nm／s时，可以获得性能最佳的Ti-B超硬薄膜，其本征硬度在测试负荷为5mN时达28．6GPa，超过了TiB体材料的硬度水平，是衬底硅片的3．2倍。利用SEM观察了Ti-B薄膜的横断面，并讨论了工艺参数对Ti－B超硬薄膜韧性的影响。

关键词：制备超显微硬度薄膜钛-硼显微结构