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耦合谐振器光波导旋转传感的相位灵敏度

物理学报 2013年第19期62卷 221-226页

作者：田赫孙伟民掌蕴东哈尔滨工程大学理学院纤维集成光学教育部重点实验室哈尔滨150001 哈尔滨工业大学光电子技术研究所与可调谐激光技术国家级重点实验室哈尔滨150080

利用光学谐振器结构的色散可提高旋转传感的灵敏度,耦合谐振器光波导可实现强色散,本文利用传输矩阵理论,研究耦合谐振器光波导旋转传感的相位灵敏度,讨论谐振器布局和波导参数对相位灵敏度的影响,结果表明波导的相位曲线和相位灵敏度... 详细信息

利用光学谐振器结构的色散可提高旋转传感的灵敏度,耦合谐振器光波导可实现强色散,本文利用传输矩阵理论,研究耦合谐振器光波导旋转传感的相位灵敏度,讨论谐振器布局和波导参数对相位灵敏度的影响,结果表明波导的相位曲线和相位灵敏度依赖于波导中谐振器的布局,谐振器数量和耦合系数不仅会影响波导旋转传感相位灵敏度曲线峰值的数量和带宽,还会影响相位灵敏度的大小,而损耗会降低波导的相位灵敏度,本文的结果可用于利用谐振器布局和波导参数设计耦合谐振器光波导的相位灵敏度,对其在旋转传感方面的应用有重要意义.

关键词：谐振器旋转传感光波导

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基于谐振器的多模态压电换能结构研究

振动工程学报 2011年第5期24卷 491-497页

作者：刘海利徐天柱黄震宇陈大跃上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200240

传统压电悬臂梁俘能器一般通过其基频与环境中某一激振频率的匹配来收集这个频率上的振动能,为俘获环境中多个激振频率上的能量,提出一种在压电悬臂梁上附加谐振器的多模态换能结构,由该结构组成的俘能器的前两阶共振频率可以被设计在... 详细信息

传统压电悬臂梁俘能器一般通过其基频与环境中某一激振频率的匹配来收集这个频率上的振动能,为俘获环境中多个激振频率上的能量,提出一种在压电悬臂梁上附加谐振器的多模态换能结构,由该结构组成的俘能器的前两阶共振频率可以被设计在给定的激振频率上,从而有效地收集分布在这两个频率上的能量。实验表明附加谐振器有效地提高了俘能效率,其中一阶模态的俘能效率相对附加等量质量块时提高了71%,二阶模态的俘能效率与原压电悬臂梁的一阶模态相当。

关键词：压电多模态能量收集悬臂梁谐振器

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高次谐波体声波谐振器的机械品质因数

声学学报 2016年第5期41卷 585-596页

作者：李鉴刘梦伟李俊红马军汪承灏中国科学院声学研究所北京100190

机械品质因数QM是高次谐波体声波谐振器(High-overtone Bulk Acoustic Resonator,HBAR)一个关键的特性参数。首次较系统地研究了QM随构成HBAR的3个组成部分(基底、压电薄膜和电极)的结构参数(厚度)和性能参数(特性阻抗与机械衰减因子)... 详细信息

机械品质因数QM是高次谐波体声波谐振器(High-overtone Bulk Acoustic Resonator,HBAR)一个关键的特性参数。首次较系统地研究了QM随构成HBAR的3个组成部分(基底、压电薄膜和电极)的结构参数(厚度)和性能参数(特性阻抗与机械衰减因子)的变化规律。在谐振频率附近,将HBAR的分布参数等效电路简化为集总参数等效电路,首次用解析表达式给出它们的变化规律,分析了QM在给定频率最近谐振点的变化情况。结果表明,固定压电层厚度,QM随基底厚度的连续增加略呈振荡(非单调)上升,当基底厚度很大时趋于基底材料的机械品质因数;固定基底厚度,QM随压电层厚度的连续增加呈波浪式下降;选择低损耗的蓝宝石或YAG作为基底可以获得较大的QM值;电极的损耗必须考虑,它会降低QM值;与Au电极相比,具有较低损耗的A1电极选择适当厚度可以获得较高的QM值;此外,QM随频率的增加呈下降趋势。上述的结果为HBAR的优化设计提供了相应的理论依据。根据我们对K_(eff)~2的研究,Q_M与K_(eff)~2的变化规律往往是相悖的,因此在设计HBAR时要在这两者作适当的权衡。

关键词：机械品质因数高次谐波谐振器体声波基底材料变化规律谐振频率等效电路

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基于Ⅰ型缝隙谐振器的完全印刷无芯片标签

华南理工大学学报（自然科学版） 2016年第1期44卷 44-49,57页

作者：马中华杨建红兰州大学物理科学与技术学院甘肃兰州730000 集美大学信息工程学院福建厦门361021

为降低射频识别(RFID)系统中标签的成本,提出了基于I型缝隙谐振器的印刷无芯片标签.通过在导电材料上增加或者缺失不同长度、不同宽度的I型缝隙进行信息编码,得到各种编码的标签,然后利用标签的雷达散射截面(RCS)提取标签信息.在37.0 mm... 详细信息

为降低射频识别(RFID)系统中标签的成本,提出了基于I型缝隙谐振器的印刷无芯片标签.通过在导电材料上增加或者缺失不同长度、不同宽度的I型缝隙进行信息编码,得到各种编码的标签,然后利用标签的雷达散射截面(RCS)提取标签信息.在37.0 mm×20.5 mm的F4BM-1/2基板上实现了12 bit的无芯片标签.仿真和实验测试结果表明:标签上的每个谐振器对应频谱上的一个谐振频率,改变缝隙的长度可大范围地改变谐振频率,改变缝隙的宽度只轻微地改变谐振频率;减小相邻缝隙之间的间距或缝隙的宽度可以提高编码容量.

关键词：标签谐振器雷达散射截面射频识别

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基于光栅结构太赫兹谐振器的醇水混合液检测

中国激光 2019年第6期46卷 179-185页

作者：王鹏騛何明霞田震赵红卫天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 中国科学院上海应用物理研究所上海201800

利用基于柔性衬底的谐振器透射式太赫兹时域光谱(THz-TDS)系统,对不同体积分数的乙醇-水混合液进行检测。随着乙醇体积分数增加,谐振频率出现蓝移,第二谐振峰的偏移量大于第一谐振峰的偏移量,最大偏移量达到52GHz,灵敏度约为100GHz/RIU... 详细信息

利用基于柔性衬底的谐振器透射式太赫兹时域光谱(THz-TDS)系统,对不同体积分数的乙醇-水混合液进行检测。随着乙醇体积分数增加,谐振频率出现蓝移,第二谐振峰的偏移量大于第一谐振峰的偏移量,最大偏移量达到52GHz,灵敏度约为100GHz/RIU。由于谐振器的柔性和极低的样品消耗(约20μL),这种方法使THz-TDS和太赫兹谐振器在生物领域的应用成为可能。

关键词：太赫兹技术太赫兹光谱表面等离激元谐振器介电常数灵敏度

电讯系统中硅微机械谐振器/滤波器通带灵敏度分析

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振动工程学报 2004年第3期17卷 359-364页

作者：李普方玉明东南大学机械工程系东南大学电子工程系教育部MEMS重点实验室南京邮电学院信息工程系南京 210003

以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象 ,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上 ,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式 ,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3... 详细信息

以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象 ,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上 ,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式 ,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3d B截止频率处对幅频特性、相频特性的影响 ,以及对常用的 3d B通带带宽的影响 ,得出了一些重要的结论。

关键词： MEMS 谐振器滤波器灵敏度

梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振器的非线性分析

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北京理工大学学报 2022年第4期42卷 390-397页

作者：周春燕胡博北京理工大学宇航学院北京100081

谐振式MEMS传感器的输出信号为频率信号,具有高精度和强抗干扰能力等优点,是微传感器的重要发展方向之一.但是这类传感器振动具有的非线性会导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而对器件的噪声性能产生不利影响,所以对谐振器非线性振动的... 详细信息

谐振式MEMS传感器的输出信号为频率信号,具有高精度和强抗干扰能力等优点,是微传感器的重要发展方向之一.但是这类传感器振动具有的非线性会导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而对器件的噪声性能产生不利影响,所以对谐振器非线性振动的特性进行分析显得十分重要.以梳齿结构与振动梁复合的谐振器为研究对象,推导出谐振梁的力-位移方程、振动微分方程,并与实验结果比对,曲线具有很好的吻合度,证明了理论的正确性.同时表明结构机械非线性主要受谐振梁厚度影响;非线性失稳的临界状态会使结构发生频率跳跃,增加结构阻尼能有效增大系统稳定响应的位移和输出电压信号,同时利用结构非线性失稳后的上跃频率设计器件具有良好的稳定性.

关键词：谐振器非线性振动结构计算

基于谐振器慢波传输线的小型化宽阻带谐波抑制功分器

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电子与信息学报 2022年第10期44卷 3666-3672页

作者：黄文李靓董金生谭菲任仪重庆邮电大学光电工程学院重庆400065 电子科技大学长三角研究院(湖州) 湖州313000

该文提出一种基于谐振器慢波传输线的小型化宽阻带谐波抑制功分器,该谐振器慢波传输线由矩形谐振器、T型谐振器和蛇形线构成,来取代功分器中的1/4波长传统微带传输线。所设计制作的功分器,其尺寸仅为传统微带功分器的37.4%。实验结果表... 详细信息

该文提出一种基于谐振器慢波传输线的小型化宽阻带谐波抑制功分器,该谐振器慢波传输线由矩形谐振器、T型谐振器和蛇形线构成,来取代功分器中的1/4波长传统微带传输线。所设计制作的功分器,其尺寸仅为传统微带功分器的37.4%。实验结果表明,该功分器回波损耗大于10 dB的带宽范围为0.1~1.19 GHz,在2.2~11.05 GHz频率范围内衰减大于20 dB,具有较宽的阻带从而具有抑制谐波效果。仿真和测试结果较为吻合,验证了所提设计方法的有效性。

关键词：功分器谐振器慢波传输线谐波抑制小型化

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热激励硅梁谐振器研究

电子与信息学报 2001年第8期23卷 785-792页

作者：陈德勇崔大付王利韩泾鸿中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080

作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器。采用热激励方式,测定了谐振梁的开环振动幅频特性:室温真空中谐振峰-3dB带宽1.2Hz,Q值大于33000。从理论和实验两方面讨论了低热激励功率条件下激励功率与谐振... 详细信息

作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器。采用热激励方式,测定了谐振梁的开环振动幅频特性:室温真空中谐振峰-3dB带宽1.2Hz,Q值大于33000。从理论和实验两方面讨论了低热激励功率条件下激励功率与谐振频率的线性关系,二者符合较好。

关键词：热激励硅梁谐振器