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触针式轮廓仪的测针形状及其检定

工具技术 2003年第7期37卷 70-71页

作者：吕会娣郎岩梅哈尔滨量具刃具厂仪器分厂哈尔滨市和平路44号150040 哈尔滨量具刃具厂

触针式轮廓仪是机械加工企业和计量检定单位应用针描法测量工件表面粗糙程度的一种常用仪器.触针式轮廓仪的工作原理是:当驱动器带动传感器沿工件被测表面作匀速运动时,传感器的测针随工件表面的微观起伏作上下运动,测针的运动经传感器... 详细信息

触针式轮廓仪是机械加工企业和计量检定单位应用针描法测量工件表面粗糙程度的一种常用仪器.触针式轮廓仪的工作原理是:当驱动器带动传感器沿工件被测表面作匀速运动时,传感器的测针随工件表面的微观起伏作上下运动,测针的运动经传感器转换为电信号的变化,电信号的变化量再经后期电路的处理和计算,得到工件表面粗糙度参数值.

关键词：触针式轮廓仪测针形状检定传感器表面粗糙度

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触针式轮廓仪几何误差补偿算法研究与实验

触针式轮廓仪几何误差补偿算法研究与实验

作者：付嵌波西安工业大学

学位级别：硕士

随着先进制造技术的提升,具有高精度表面的机械零件越来越多,这就需要对这些零件进行高精度、大范围的轮廓测量。触针式轮廓仪因其测量范围大、稳定性高、对环境要求低等优点,在表面轮廓测量领域得到广泛应用。研究表明该仪器的测量精... 详细信息

随着先进制造技术的提升,具有高精度表面的机械零件越来越多,这就需要对这些零件进行高精度、大范围的轮廓测量。触针式轮廓仪因其测量范围大、稳定性高、对环境要求低等优点,在表面轮廓测量领域得到广泛应用。研究表明该仪器的测量精度主要受到传感器非线性误差、测球半径、导轨直线度误差等几何误差的影响。为了提高测量精度,需要对这些误差进行消减和补偿。本文主要围绕触针式轮廓仪几何误差的补偿问题展开研究,主要工作如下:(1)现有触针式轮廓仪的非线性误差多采用多项式模型进行补偿,由于多项式的拟合能力有限,随着测量范围的增大,基于多项式模型的非线性误差补偿存在着较大的残余误差。本文建立了一种触针式传感器的非多项式误差模型。以标准球作为标准器,结合Levenberg-Marquardt寻优算法,完成传感器非线性误差的标定。最后,利用标定获得的参数对触针式轮廓仪传感器的非线性误差进行了补偿。(2)研究导轨直线度误差对轮廓测量带来的影响,提出了X向导轨直线度误差补偿的具体方案,建立了基于多项式的X向导轨直线度误差的数学模型,并给出了导轨直线度误差标定和补偿的数学公式。(3)研究测球半径对测量结果的影响,分析了微观状态下,测球与被测表面的接触状态,提出了基于临近点拟合的测头半径补偿方法,并通过仿真对该补偿方法进行了验证。仿真结果表明,该方法对微观状态下的半径补偿有良好的效果。(4)编写了触针式轮廓仪的几何误差补偿软件,该软件以动态链接库的形式嵌入测量软件中,实现了触针式轮廓仪几何误差的实时补偿。开展了触针式轮廓仪几何误差补偿实验,对触针式轮廓仪几何误差补偿算法和导轨直线度误差补偿算法进行了验证。实验结果表明,使用本文提出的非多项式非线性误差补偿模型,传感器的非线性误差的相对残差的绝对平均值由3188.2×10减小到12.388×10,使用传统多项式模型相对残差的绝对平均值减小到124.49×10,通过对比表明本文提出的非多项式模型对传感器非线性误差具有良好的抑制效果。在导轨直线度误差与传感器非线性误差的综合补偿实验中,相对残差的绝对平均值由1.281×10减小到1.096×10,表明综合补偿可有效改善大尺寸工件测量时的误差补偿效果,进而证明了导轨直线度误差补偿的有效性。

关键词：触针式轮廓仪误差补偿非线性误差测球半径误差导轨误差

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表面粗糙度轮廓仪快捷定位装置的设计改进

机械 2017年第12期44卷 74-76页

作者：刘利焕汪杰中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

触针式表面粗糙度轮廓仪,是进行线粗糙度测量的专业精密量仪,具有超高精度的传感器。但因其传感器感应区间狭小,导致对复杂零件表面实施高精度的粗糙度测量时需反复安装调试,难以实现快速测量。通过反复实践摸索改进,设计制作了一套专... 详细信息

触针式表面粗糙度轮廓仪,是进行线粗糙度测量的专业精密量仪,具有超高精度的传感器。但因其传感器感应区间狭小,导致对复杂零件表面实施高精度的粗糙度测量时需反复安装调试,难以实现快速测量。通过反复实践摸索改进,设计制作了一套专用于表面粗糙度轮廓仪的辅助定位装置,通过测试验证与数据分析,有效证明该装置可大大提高微小复杂零件表面质量测量的工作效率。

关键词：触针式轮廓仪快捷装卡精准定位夹具

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连云港制成小型表面粗糙度测量仪

机械科学与技术 1989年第2期8卷 47-48页

作者：张正文

连云港光学仪器厂,为适应机械零件加工检测的需要,最近研制成功 xcy—1型小型表面粗糙度测量仪。主要用来测量机械零件加工表面的粗糙度,即微观不平度的算术平均偏差值,是一种触针式轮廓仪。

关键词：机械零件加工触针式轮廓仪粗糙度光学仪器厂偏差值不平度算术平均直接读出指示仪表成品检验

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测量轮廓支承长度率的简便评定法

宇航计测技术 1993年第2期12卷 40-42页

作者：张泰昌北京市计量测试研究所高级工程师100013

介绍了一种利用触针式轮廓仪和光切显微镜,得到轮廓图形后,通过做幅度分布曲线与轮廓支承长度率曲线,求解t_p的简便方法。这对不具备多功能参数轮廓仪的工矿企业,解决t_p测量问题有着实用意义。

关键词：触针式轮廓仪显微镜轮廓曲线

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表面粗糙度的测量与检验

航空标准化与质量 1985年第S1期 40-59页

一、概述表面粗糙度测量和一般长度测量相比较,具有被测量小,测量精度要求高等特点。如标准中规定的最小轮廓算术偏差Ra=0.008μm,最小微观不平度十点高度Rz=0.025μm,最小的微观不平度的平均间距Sm=0.002mm(比螺纹的最小螺距还小近百... 详细信息

一、概述表面粗糙度测量和一般长度测量相比较,具有被测量小,测量精度要求高等特点。如标准中规定的最小轮廓算术偏差Ra=0.008μm,最小微观不平度十点高度Rz=0.025μm,最小的微观不平度的平均间距Sm=0.002mm(比螺纹的最小螺距还小近百倍)。

关键词：表面粗糙度 Ra 参数值轮廓图形表面性质取样长度触针式轮廓仪

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带微型机的表面三维形貌测量系统

计量学报 1987年第3期 224-229页

作者：张鄂张和平金增伟上海交通大学

本文介绍采用触针式轮廓仪与通用微型机相连的表面三维形貌测量系统。该系统结构简单、使用方便,具有图形信息和数字信息处理软件,能完成轴测图,截面图、等高线图等的绘制以及三维粗糙度参数的计算。文中给出了典型表面形貌的实测结果。

关键词：三维形貌测量触针式轮廓仪微型机微型计算机轴测图

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表面粗糙度的测量与检验

航空标准化 1985年第3期 49-68页

一、概述表面粗糙度测量和一般长度测量相比较,具有被测量小,测量精度要求高等特点。如标准中规定的最小轮廓算术偏差Ra=0 008μm,最小微观不平度十点高度Rz=0 025μm,最小的微观不平度的平均间距Sm=0 002mm(比

关键词：表面粗糙度 Ra 轮廓图形参数值鼓轮刻度值表面性质取样长度触针式轮廓仪

滑动轴承的质量保证—整体与多层金属厚壁轴瓦的质量特性及尺寸检验

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内燃机与配件 1989年第S1期 79-82页

尺寸单位:mm 1、适用范围该标准适用于金属厚壁轴瓦尺寸检验,该轴瓦制成剖分式,但不可用其中半瓦进行互换,壁厚与直径之比S3/d2≥0.01（参考值） 2、引用标准DIN1319/3 测量技术基本概念—测量误差概念DIN4762/1 根据表面轮廓检测表... 详细信息

尺寸单位:mm 1、适用范围该标准适用于金属厚壁轴瓦尺寸检验,该轴瓦制成剖分式,但不可用其中半瓦进行互换,壁厚与直径之比S3/d2≥0.01（参考值） 2、引用标准DIN1319/3 测量技术基本概念—测量误差概念DIN4762/1 根据表面轮廓检测表面2至5级几何偏差—参考系统与计量单位概念DIN4762/2 根据表面轮廓检测表面至5几何偏差—以理想几何参考轮廓为基准的轮廓截面评定。DIN4768/1 用电子触针式轮廓仪确定粗糙度测量值Ra、Rz、Rmax—基本原理。DIN4771 表面轮廓深度Pt的测量DIN670/6 滑动轴承质量保证—滑动轴承材料的质量特性与检验DIN31670/10 滑动轴承质量保证—概念,一般说明ISO1880-1974轮廓接触式（触针）表面粗糙度测量仪—分级式轮廓变换仪—轮廓记录仪某它标准 DIN7474

关键词：尺寸检验厚壁轴瓦剖分式表面轮廓质量保证质量特性触针式轮廓仪粗糙度引用标准参考系统