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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 原子力显微镜
  • 1 篇 高精度样品台系统
  • 1 篇 软刻蚀
  • 1 篇 表面标记坐标系
  • 1 篇 反向重定位

机构

  • 1 篇 上海交通大学
  • 1 篇 中国科学院上海应...

作者

  • 1 篇 周虹杉
  • 1 篇 唐雨钊
  • 1 篇 张晓东
  • 1 篇 吴志华
  • 1 篇 孙洁林
  • 1 篇 张峰
  • 1 篇 胡钧

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=表面标记坐标系"
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用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法
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电子显微学报 2006年 第6期25卷 472-476页
作者： 唐雨钊 周虹杉 张峰 吴志华 张晓东 孙洁林 胡钧 上海交通大学生命科学技术学院 上海200240 中国科学院上海应用物理研究所 上海201800
软刻蚀技术运用聚二甲基硅氧烷(Poly dimethylsiloxane,PDMS)等聚合物材料制备弹性图章,并用制备好的图章转印图形结构至特定基底。在很多情况下需对模板和弹性图章、图章与转印图形同一位置的形貌进行表征。基于原子力显微镜观测的反... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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