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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 对准
  • 1 篇 视觉测量法
  • 1 篇 基线校正
  • 1 篇 补偿对准测量法

机构

  • 1 篇 vlsitechnology

作者

  • 1 篇 pierre leroux
  • 1 篇 葛劢冲
  • 1 篇 david ziger

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=补偿对准测量法"
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监控对准采用的补偿对准测量法
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引用
电子工业专用设备 2000年 第3期29卷 36-43,52页
作者： David Ziger Pierre Leroux 葛劢冲 VLSITechnology
补偿对准测量方法 (CALM )是视觉测量水平向、垂直向、旋转偏差及倍率误差等步进机对准可校正因素的一种新技术。CALM技术是根据已曝光在抗蚀剂中的线条间隙图形在显影之前 ,通过准确偏移光栅 1/2间距再次曝光 ,然后完全除去已曝光部分... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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