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计算层析成像光谱仪中衍射器件的设计

光电子．激光 2003年第2期14卷 122-126页

作者：范东栋王建岗邬敏贤何庆声金国藩清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

结合成像光谱系统对衍射器件的要求,采用系统优化方法设计了两种衍射器件;给出了光栅的设计结果和光谱响应曲线。性能测试表明,实测结果与设计值相吻合。系统图像采集实验结果表明,在410～700nm范围内,所设计的光栅能满足系统的要求。

关键词：衍射器件计算层析成像光谱仪光栅光谱成像

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红外与太赫兹波衍射器件的设计与制作

红外与太赫兹波衍射器件的设计与制作

作者：刘剑峰华中科技大学

学位级别：硕士

随着红外与太赫兹波研究工作的深入开展，红外与太赫兹波的应用范围在逐年扩大，衍射器件的研发已成为其中的一个重要研究方向，受到了广泛关注和重视。本文基于衍射理论开发了用于红外与太赫兹衍射器件的设计软件，使用标准半导体工艺... 详细信息

随着红外与太赫兹波研究工作的深入开展，红外与太赫兹波的应用范围在逐年扩大，衍射器件的研发已成为其中的一个重要研究方向，受到了广泛关注和重视。本文基于衍射理论开发了用于红外与太赫兹衍射器件的设计软件，使用标准半导体工艺完成了多种器件的制作。红外衍射器件主要用于形成复杂波前结构，太赫兹衍射器件主要用于形成多种图形。软件在Matlab环境下编写和运行。采取模块化方式编写软件，主要包括可视化界面生成模块、默认参数设置模块、相位计算模块、cif文件生成模块。可视化界面生成模块包括软件窗口生成，菜单及子菜单生成，结果显示区域生成和按钮生成。默认参数设置模块保存预先设置在软件中的参数值，在被调用时将这些值赋予给对应参数。相位计算模块依据瑞利索末菲或角谱衍射理论仿真衍射过程，通过盖师贝格-撒克斯通算法(Gerchberg-Saxton Algorithm，简写为GS算法)计算光场相位。cif文件生成模块依据器件制作时所选取的腐蚀工艺，生成工艺制作必须的版图文件。将软件用于多种情况下的器件设计。依据具体要求，对软件功能进行改进和扩展，如自动化计算、图形生成模块、文件读写模块、成像效果测试模块等功能模块。提出相位分区计算的新方法，用于减少计算中的数据量，缩小生成文件，使工艺制作更易完成，精度更易控制。使用标准半导体工艺完成器件的制作。工艺流程包括掩模版制作、生长保护层、光刻和腐蚀等。本文分别讨论了湿法腐蚀与干法腐蚀的关键工艺流程，分析了它们对版图文件的要求。结合工艺中的限制条件，对版图文件的设计给出了详细说明。红外波前器件已进行了仿真设计以及工艺流程编制。制作了太赫兹器件并进行了测试。实验结果表明，器件达到了预期的效果。

关键词：红外波太赫兹波衍射器件聚焦波前湿法腐蚀干法腐蚀

同方学位论文库评论

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同方学位论文库

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利用有限元法建立衍射器件的数值模型

光机电信息 1995年第4期12卷 24-29页

作者：王世昌

随着技术上的进步，使得微机械光学和衍射器件的尺寸有可能实现与入射光波长处于同一量级的大小。在全息术、光谱学、干涉计量术中往往要涉及到这种元件的应用，在微波工程和无线系统设计领域里也要使用类似结构的器件，这些器件有许多... 详细信息

随着技术上的进步，使得微机械光学和衍射器件的尺寸有可能实现与入射光波长处于同一量级的大小。在全息术、光谱学、干涉计量术中往往要涉及到这种元件的应用，在微波工程和无线系统设计领域里也要使用类似结构的器件，这些器件有许多实际应用，如形成入射场相位和偏振的衍射光栅(即作为无线系统里扫描反射器中的扭曲偏振器。

关键词：衍射器件数值模型有限元微机械光学衍射光栅

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光学超振荡与超振荡光学器件

物理学报 2017年第14期66卷 56-75页

作者：陈刚温中泉武志翔重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

传统光学器件的衍射极限极大地制约了远场超分辨光学系统的进一步发展.如何从光学器件层面突破光学衍射极限瓶颈,实现非标记远场超分辨光学成像,是光学领域面临的巨大挑战.光学超振荡在不依靠倏逝波的条件下,可以在远场实现任意小的亚... 详细信息

传统光学器件的衍射极限极大地制约了远场超分辨光学系统的进一步发展.如何从光学器件层面突破光学衍射极限瓶颈,实现非标记远场超分辨光学成像,是光学领域面临的巨大挑战.光学超振荡在不依靠倏逝波的条件下,可以在远场实现任意小的亚波长光场结构,这为突破光学衍射极限提供了一条崭新的途径.近年来,光学超振荡现象和超振荡光学器件的相关研究得到了快速发展,在理论和实验上成功地演示了超振荡光场的产生和多种超振荡光学器件,并在实验上展示了超振荡光学器件在非标记远场超分辨光学显微、成像以及超高密度数据存储等应用领域的巨大优势和应用潜力.本文对光学超振荡相关理论、超振荡光学器件设计理论和方法、超振荡光学器件发展现状、超振荡光场测试方法以及超振荡光学器件的应用等方面进行详细介绍和分析.

关键词：超振荡超分辨衍射器件亚波长

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压印技术制作太赫兹器件

激光与光电子学进展 2007年第6期44卷 11-12页

作者：山风(编译)

英国格拉斯哥大学的研究人员．实现了一种快速可靠的太赫兹器件压印技术。该技术使用硅片作为掩模板在聚丙烯中压印太赫兹衍射器件，制作成本低廉。

关键词：衍射器件技术使用太赫兹压印技术研究人员格拉斯聚丙烯

非制冷红外热像仪的Petzval型物镜的研制与分析

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光电子．激光 2007年第3期18卷 270-272页

作者：张云翠孙强卢振武长春光学精密机械与物理研究所

研制了应用在长波红外热成像中的Petzval型物镜,工作波段为8～12μm,F数为1,焦距为90mm,视场为12.6°,空间分辨率为0.5mrad,透镜材料均为Ge。使用折/衍混合器件作为色差校正器件代替1片负透镜,光学器件的重量从0.50kg减轻到0.38kg,衍射... 详细信息

研制了应用在长波红外热成像中的Petzval型物镜,工作波段为8～12μm,F数为1,焦距为90mm,视场为12.6°,空间分辨率为0.5mrad,透镜材料均为Ge。使用折/衍混合器件作为色差校正器件代替1片负透镜,光学器件的重量从0.50kg减轻到0.38kg,衍射面采用金刚石车削技术进行加工。利用Video光学调制传递函数仪对系统性能进行了检测,检测值的下降不超过设计值的3%。分析了衍射器件的衍射效率对调制传递函数的影响。

关键词：红外热成像衍射器件非制冷探测器

多色光大空间带宽积傅立叶变换透镜系统的设计

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光学技术 1998年第4期24卷 11-14页

作者：赵丽萍邬敏贤毛文炜严瑛白金国藩清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室

本文根据傅立叶变换透镜系统的像差要求，通过研究衍射器件的色差特性和初级像差特点，提出了多色光大空间带宽积的傅立叶变换透镜的系统结构。此系统采用无光焦度的衍射器件校正傅立叶变换主镜的球差，使系统得到最大空间带宽积；还采... 详细信息

本文根据傅立叶变换透镜系统的像差要求，通过研究衍射器件的色差特性和初级像差特点，提出了多色光大空间带宽积的傅立叶变换透镜的系统结构。此系统采用无光焦度的衍射器件校正傅立叶变换主镜的球差，使系统得到最大空间带宽积；还采用谐衍射器件的设计方法，使系统可对多种相干光实现光学傅立叶变换。相对传统傅立叶变换系统而言，此衍射系统结构简单，性能好，可望在光学信息处理方面得到广泛的应用。

关键词：傅立叶变换空间带宽积衍射器件透镜系统

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光的干涉与衍射

中国光学 2004年第3期 7-10页

O348.1 2004031650 新型三维位移场测试理论及系统研究=Newly designedexperimental system for 3-D displacement measurement[刊,中]/孙建海(首都师范大学物理系.北京(100037)),王卫宁∥激光杂志.—2003,24(4).

关键词：衍射效率干涉条纹国家重点实验室蚀刻衍射光栅衍射器件半导体激光器测试技术介质光栅光强分布清华大学

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文摘

光机电信息 1997年第6期 34-35页

很早以前,有人尝试利用全息方法对爆炸时产生的冲击波的波面和爆炸物的微粒进行观测。但是,在这种方法中,因全息显示图像的背景产生非常强的噪声,故很难固定每个微粒和冲击波的波面位置。这起因于观测区的光量大,而由冲击波带来的折射... 详细信息

很早以前,有人尝试利用全息方法对爆炸时产生的冲击波的波面和爆炸物的微粒进行观测。但是,在这种方法中,因全息显示图像的背景产生非常强的噪声,故很难固定每个微粒和冲击波的波面位置。这起因于观测区的光量大,而由冲击波带来的折射率变动或被微粒所衍射的光量相对而言,非常少所致。因此,探讨了用光学滤波来抑制背景噪声的方法。本文作者提出了高通滤波的方法,此方法利用傅里叶变换全息的方法,全息记录

关键词：全息记录冲击波衍射器件光学器件波长转换波面文摘检索工具