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  • 1 篇 南京工学院
  • 1 篇 陕西电器研究所

作者

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  • 1 篇 泷口
  • 1 篇 潘婷
  • 1 篇 张万河
  • 1 篇 盐山
  • 1 篇 蔺露
  • 1 篇 陈国平

语言

  • 6 篇 中文
检索条件"主题词=薄膜敏感元件"
6 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
薄膜敏感元件的现状
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传感器与微系统 1987年 第Z1期 6-6页
作者: 陈国平 南京工学院电子工程系
随着信息技术的发展,要求敏感元件向小型化、集成化和多功能方向发展,而采用薄膜技术制造的薄膜敏感元件,由于具有许多特点而日益受到人们重视。薄膜敏感元件的核心是沉积在基体表面上的一层功能薄膜,厚度在零点几纳米到几微米。 薄膜... 详细信息
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国外文献文摘
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仪表技术与传感器 1980年 第3期 48-53页
本文主要介绍1979年9月11日至13日在英国伦敦西区中心旅馆举办的第五次控制与仪表展览会的实况。这次展出的内容较多,有各种传感器、敏感元件、流量计、控制阀、校准和试验装置、测温仪表以及记录和数显仪表等,许多著名的厂家都参加了... 详细信息
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测压范围10~5到10-3帕简易的氮化钽薄膜
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真空 1981年 第5期 61-63+69页
作者: 盐山 泷口 小川 张万河 [日]
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影响薄膜器件绝缘性能的工艺研究
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集成电路应用 2022年 第6期39卷 36-37页
作者: 潘婷 蔺露 陕西电器研究所 陕西710061
阐述影响薄膜敏感元件绝缘强度的工艺优化,得出最佳的离子能量参数,既能保证敏感元件良好的绝缘性能,又能满足结合力指标的要求,绝缘强度从小于200MΩ提高到大于3×10^(5)MΩ。
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我厂开展长期封存工作的情况
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航空标准化与质量 1979年 第6期 8-9页
我厂在贯彻执行长期封存(以下简称长封)标准方面,做了一些工作,取得了一些成效,但还存在一些问题。现将基本情况简述如下。
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真空薄膜技术调研报告
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激光与红外 1987年 第7期 11-14页
作者: 电子部激光情报网真空薄膜技术调研组
为了解我国当前真空薄膜技术的现状、水平、动态以及今后的发展方向,根据电子部批准的计划,激光专业情报网光学加工和薄膜专业组组织了五个单位,于1986年第二季度对国内有关的54个有代表性的厂、所和院校进行调查访问,它们分别隶属于高... 详细信息
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