检索结果-南通市图书馆

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

氧化锌系列薄膜体声波谐振器研制与表征

微纳电子技术 2016年第11期53卷 726-730页

作者：段力卢学良史丽云王英付学成王丹凤汪军沈勇翁昊天张亚非上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200240

研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。通过优化条件,制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件。... 详细信息

研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。通过优化条件,制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件。该谐振器回波损耗可达-20 dB,谐振峰在1.8~2.4 GHz,Q值可达800。利用X射线衍射（XRD）谱研究了MgxZn1-xO压电薄膜的结晶特性,得到了很好的c轴（002）铅锌矿薄膜结构特性。利用3D显微镜观测了固体装配型薄膜体声波谐振器的表面与侧面结构。根据MgxZn1-xO压电层的测量厚度和谐振频率,计算了掺镁氧化锌薄膜体声波谐振器的相位声速值为6 854.1 m/s,比纯氧化锌压电薄膜的声速6 330 m/s略高。

关键词：射频(RF) 薄膜体声波谐振器传感器 CMOS集成电路

维普期刊数据库

同方期刊数据库博看期刊评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

固贴式薄膜体声波传感器的仿真分析

仪表技术与传感器 2019年第1期 20-23页

作者：吴永盛苏淑靖翟成瑞马晓鑫袁财源中北大学电子测试技术重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051

针对布拉格反射栅的特点,选用ta-C作为高声阻抗材料,Al N作为低声阻抗材料。利用COMSOL Multiphysics对布拉格反射栅薄膜体声波传感器(BAW-SMR)建模并对建立的模型进行固体力学和静电学的有限元仿真分析,得到了传感器的谐振频率、不同... 详细信息

针对布拉格反射栅的特点,选用ta-C作为高声阻抗材料,Al N作为低声阻抗材料。利用COMSOL Multiphysics对布拉格反射栅薄膜体声波传感器(BAW-SMR)建模并对建立的模型进行固体力学和静电学的有限元仿真分析,得到了传感器的谐振频率、不同布拉格反射栅对数下传感器的导纳特性曲线、阻抗特性曲线以及形变位移图。通过对比分析得出当前条件下布拉格反射栅对数为4对时,传感器的阻抗特性曲线平滑,谐振频率为3. 258 GHz;当布拉格反射栅对数为3对或5对时,阻抗特性曲线存在寄生谐振。针对存在寄生谐振的传感器,选取具有3对布拉格反射栅的传感器进行优化,通过改变传感器上电极的尺寸和厚度来消除寄生谐振,实现了对寄生谐振峰的有效抑制,为进一步的研究提供了理论依据。

关键词：布拉格反射栅有限元模型谐振频率薄膜体声波

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

温度补偿的压电薄膜体声波滤波器

温度补偿的压电薄膜体声波滤波器

作者：胡念楚天津大学

学位级别：硕士

小型化、高性能的薄膜体声波（BAW）带通滤波器在移动无线通讯系统中受到了广泛的欢迎。薄膜体声波带通滤波器是基于高Q值的谐振器，该薄膜体声波谐振器是利用压电氮化铝（AlN）薄膜的厚度延伸模式。滤波器和谐振器采用1维纵向的电-声... 详细信息

小型化、高性能的薄膜体声波（BAW）带通滤波器在移动无线通讯系统中受到了广泛的欢迎。薄膜体声波带通滤波器是基于高Q值的谐振器，该薄膜体声波谐振器是利用压电氮化铝（AlN）薄膜的厚度延伸模式。滤波器和谐振器采用1维纵向的电-声的梅森模型。多模移动通讯终端需要高性能的射频滤波器解决方案，例如在UMTS系统中集成移动电视功能而产生的互相干扰问题。TD-CDMA的移动电视（TDtv）是一种起源于欧洲的移动电视技术，TDtv发送电视信号到移动终端的通带是从1900-1910MHz，比UMTS3G的发射频带（1920-1980MHz）仅低10MHz。为了使TDtv和UMTS在无线手机中同时使用需要一个高选择性的带通滤波器来抑制TDtv带外的干扰。同时，为了抑制UMTS Tx输出信号增加TDtv接收机的信噪比，需要在UMTS Tx通信支路增加一个滤波器，该滤波器在UMTS通带内具有极低的插入损耗，同时在TDtv频带具有良好的抑制性能。我们设计和制造了基于温度补偿的薄膜体声波技术的带通和带阻滤波器。实测结果显示，两个滤波器在通带内的具有较低的插入损耗（~3dB），高带外抑制（35~40dB）和快速的滚降特性（从通带到阻带仅有10MHz）。此外，这一对滤波器具有极低的频率温度系数（TCF），为-4ppm/oc，相比传统的BAW滤波器提高了5倍。低的频率温度系数是一个至关重要的参数，尤其是在滤波器非常陡峭的滚降区域，由于温度变化而引起细微的频率漂移都有可能导致滤波器在滚降区域不满足技术指标。该温度补偿的薄膜体声波滤波器技术非常具有代表性，它还可以应用在相类似系统中，在解决不同通讯标准互相干扰的问题中起到了关键作用，例如集成卫星收音机或者GPS导航的移动手机系统。

关键词：薄膜体声波压电梅森模型频率温度系数滤波器

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于FBAR技术的S波段低插损滤波器

固体电子学研究与进展 2019年第4期39卷 297-300,305页

作者：赵洪元夏燕王亚宁朱健南京电子器件研究所南京210016 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016

研制了基于薄膜体声波技术的S波段低插损带通滤波器。该滤波器芯片典型测试性能为,相对带宽1.3%,插损优于2dB、回波损耗优于-12dB、带外抑制40dB、温漂系数-11×10^-6/℃。该滤波器芯片采用薄膜体声波谐振器(FBAR)作为基本构成单元,使用... 详细信息

研制了基于薄膜体声波技术的S波段低插损带通滤波器。该滤波器芯片典型测试性能为,相对带宽1.3%,插损优于2dB、回波损耗优于-12dB、带外抑制40dB、温漂系数-11×10^-6/℃。该滤波器芯片采用薄膜体声波谐振器(FBAR)作为基本构成单元,使用AlN压电材料、空气腔作为底部声反射结构,机电耦合特性优良、声学损耗小。使用该FBAR滤波器芯片可构成多通道滤波器组,从而极大地缩小滤波器组的体积。

关键词：薄膜体声波滤波器 S波段

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

高功率水平下BAW滤波器热失效物理研究

高功率水平下BAW滤波器热失效物理研究

作者：相旭西南科技大学

学位级别：硕士

滤波器设计在射频前端设计中是非常重要和有技术壁垒的工作。基于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)技术的BAW滤波器是现在微型滤波器发展新方向,而频率高、带宽大、高功率是当前BAW滤波器发展的技术难点。高功率下的自热效应会导致器件... 详细信息

滤波器设计在射频前端设计中是非常重要和有技术壁垒的工作。基于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)技术的BAW滤波器是现在微型滤波器发展新方向,而频率高、带宽大、高功率是当前BAW滤波器发展的技术难点。高功率下的自热效应会导致器件发热严重,而微型化意味着散热性不良。器件过高的温度会导致性能失效甚至结构失效发生烧毁。本文针对高功率引起的自热效应导致BAW器件热失效问题,对BAW滤波器在高功率下的热失效性能表现进行研究。具体工作包括:1、为了分析BAW谐振器和滤波器的自热效应,建立了一种基于有限元的BAW器件仿真模型。通过电学模型可计算BAW器件的分布式耗散功率,并能进行电学-热耦合求解得到BAW滤波器的自热温度分布云图。2、为了研究BAW滤波器的热性能失效,建立一种热-声-电模型,利用材料参数的温度相关性模拟BAW滤波器在自热温度下的电学性能。利用该模型研究了温度对BAW滤波器频率响应的影响。3、基于BAW器件结构损坏原理,针对BAW器件的结构损坏,提出一种仿真模型,从自热下的热应力分布和电流密度两个方面出发完成BAW结构损坏仿真,为BAW器件结构损坏仿真提供思路。4、以一款BAW滤波器为案例,完成了BAW滤波器的自热测试工作和针对性能失效提出一种对自热频率漂移的修正方法。完成了输入功率对温度的影响、环境温度对滤波器频率和插入损耗的影响以及自热频率点测试,验证了BAW滤波器自热效应仿真模型的可行性。

关键词：薄膜体声波有限元仿真自热效应耗散功率

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

体声波谐振器功率容量评估方法研究

体声波谐振器功率容量评估方法研究

作者：韩超西南科技大学

学位级别：硕士

基于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)技术的BAW滤波器是一种全新的射频前端解决方案,对5G通信技术的发展起着至关重要的作用。目前,业界公认的BAW滤波器的三大技术挑战为高频化、宽带化、以及高功率化。本文选题面向第三个技术难点,对BA... 详细信息

基于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)技术的BAW滤波器是一种全新的射频前端解决方案,对5G通信技术的发展起着至关重要的作用。目前,业界公认的BAW滤波器的三大技术挑战为高频化、宽带化、以及高功率化。本文选题面向第三个技术难点,对BAW器件(BAW谐振器和BAW滤波器)的功率容量评估方法进行研究。具体工作包括:(1)提出了一种声-电磁-热多物理场仿真方法,可精确地模拟BAW谐振器的自热效应。高功率BAW器件的功率容量的主要影响因素是自热效应,首先对其进行了失效模式和失效机理分析,明确了性能退化型失效的重要地位及自热效应对谐振频率的影响机制。然后从性能退化的失效机理出发,提出了声-电磁-热多物理场仿真方法。在该方法中采用了分布式耦合热源,因而可精确地模拟自热效应。(2)提出了一种能够消除自热所致的谐振频率偏移的设计修正方案。从谐振频率的计算公式出发,得出消除BAW谐振器因自热所致的频率偏移的路线为调节压电层厚度。由于压电层厚度调节之后会改变温度场分布,所以需结合(1)中的多物理场仿真方法,并通过迭代设计来消除此频率偏移。(3)对BAW谐振器的功率容量进行了设计优化,提出了“长边馈入、长边馈出”的信号馈送原则。从自热效应的角度出发,采用(1)中的仿真方法,就信号馈送边和有源区形状的选择,开展了功率容量的设计优化。结果表明:“长边馈入、长边馈出”的信号馈送方式有助于压制自热效应,从而有利于提高功率容量;有源区形状对自热效应影响甚小,因而对功率容量的设计优化亦无贡献。(4)在全面考虑自热温度和环境温度的前提下,提出了BAW器件的功率容量评估方法。并以具体的BAW谐振器和BAW滤波器为案例,展示了该评估方法的基本流程。评估结果表明,BAW谐振器案例的功率容量可达到23 dBm,但尚达不到35 dBm;BAW滤波器案例的功率容量可达到23 dBm,但尚达不到30 dBm。在此期间,对于几何结构更为复杂的BAW滤波器(相比于BAW谐振器),采取从热耦合到电磁的路线,对其实现了热仿真。

关键词：薄膜体声波多物理场仿真自热效应 Mason模型功率容量