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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 横向结构
  • 1 篇 高光功率密度
  • 1 篇 离子注入隔离
  • 1 篇 蓝光micro-led
  • 1 篇 氮化镓

机构

  • 1 篇 中国科学院苏州纳...
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 谭毅
  • 1 篇 张宝顺
  • 1 篇 张晓东
  • 1 篇 赵德胜
  • 1 篇 卢子元
  • 1 篇 曾中明
  • 1 篇 蔡勇
  • 1 篇 庄永漳

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=蓝光Micro-LED"
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基于离子注入制备的InGaN横向micro-led阵列
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发光学报 2021年 第2期42卷 215-222页
作者： 谭毅 庄永漳 卢子元 张晓东 赵德胜 蔡勇 曾中明 张宝顺 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院 安徽合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能材料与轻巧系统重点实验室 江苏苏州215123
采用离子注入工艺在InGaN/GaN量子阱蓝光led结构的p-GaN层形成高阻态隔离区域,实现了最小4μm超小尺寸高光效micro-led阵列的制备,并系统研究了氟离子注入隔离工艺制备的横向结构micro-led阵列的电学和光学性能。实验结果表明,在采用的... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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