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不同类型蒸发源对平面夹具薄膜均匀性的影响

强激光与粒子束 2005年第10期17卷 1518-1522页

作者：董磊赵元安易葵邵建达范正修中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

分析了几种可能的实际蒸发源与薄膜均匀性的关系,其中包括扩展的平面蒸发源和曲面蒸发源。通过实验论证了薄膜均匀性对蒸发源尺寸和蒸发特性的依赖关系。得到的分析结果表明:当蒸发源半径和夹具高度的比值小于1/17时,蒸发源可以被视为... 详细信息

分析了几种可能的实际蒸发源与薄膜均匀性的关系,其中包括扩展的平面蒸发源和曲面蒸发源。通过实验论证了薄膜均匀性对蒸发源尺寸和蒸发特性的依赖关系。得到的分析结果表明:当蒸发源半径和夹具高度的比值小于1/17时,蒸发源可以被视为一个点面源;大于1/10时,应当把蒸发源视为面面源进行考虑。当挖坑深度和蒸发源半径的比值介于0和0.5之间时,挖坑对薄膜均匀性造成的影响基本可以忽略;大于0.6时,挖坑效应明显影响薄膜的均匀性。

关键词：薄膜均匀性蒸发源挖坑效应

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基于玻璃管密封技术的碱金属蒸发源研究

真空与低温 2023年第2期29卷 129-136页

作者：贺赐龙钟美鹏胡旭晓田悦但少旗浙江理工大学机械与自动控制学院杭州310018 嘉兴南湖学院机电工程学院浙江嘉兴314001 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司浙江嘉兴314006

碱金属掺杂对分子束外延生长的半导体材料有着非常重要的作用。现有的碱金属蒸发源以碱金属释放剂为原材料,蒸发的碱金属量较少,不能满足半导体材料外延生长过程中多次掺杂对碱金属量的需求,因此,自主研究开发了一种通过玻璃管密封碱金... 详细信息

碱金属掺杂对分子束外延生长的半导体材料有着非常重要的作用。现有的碱金属蒸发源以碱金属释放剂为原材料,蒸发的碱金属量较少,不能满足半导体材料外延生长过程中多次掺杂对碱金属量的需求,因此,自主研究开发了一种通过玻璃管密封碱金属单质获得大量碱金属的蒸发源,其碱金属质量可达2 g,比现有的碱金属蒸发源的碱金属含量(5 mg)提高了近2个量级。在手套箱中将碱金属单质放置在开口处带有球阀的玻璃管内,取出后连接真空泵组抽气处理,再将玻璃管旋转加热完成拉丝密封。封装后的玻璃管放置在蒸发源内部,使用时旋转挡板击碎玻璃管口进行蒸发镀膜。该碱金属蒸发源主要由原材料放置组件、灯丝加热组件、旋转挡板组件和电源控温组件等组成。对加热电源的电路进行非线性整定的PID控制,实现了5 min内将蒸发源的温度误差控制在±0.1 K以内的目标,稳定的温度可以提高分子束束流的稳定性,从而提高分子束外延膜的均匀性。试验证明,碱金属蒸发源可以蒸镀出碱金属,非线性整定PID调节器可以满足分子束外延生长对蒸发源控温精度的要求。

关键词：分子束外延碱金属蒸发源真空密封玻璃管非线性整定PID

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奥来德:两主业此升彼降利润稳定性欠佳

股市动态分析 2024年第8期 50-51页

作者：李兴然不详

日前,奥来德(688378)披露了2023年年报,年报显示公司营业收入5.17亿元,同比增长12.73%;归属于上市公司股东的净利润为1.22亿元,同比增长8.16%;扣非后归母净利润约0.76亿元,同比减少约5.31%。分业务看,公司有机发光材料业务增速喜人,同... 详细信息

日前,奥来德(688378)披露了2023年年报,年报显示公司营业收入5.17亿元,同比增长12.73%;归属于上市公司股东的净利润为1.22亿元,同比增长8.16%;扣非后归母净利润约0.76亿元,同比减少约5.31%。分业务看,公司有机发光材料业务增速喜人,同比增长49.42%,但蒸发源业务令人担忧,尤其是下半年该业务营收微乎其微,令全年收入下降19.01%。

关键词：有机发光材料净利润上市公司股东营业收入年报蒸发源主业

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超微粒蒸发源特性研究

物理学报 1992年第8期41卷 1255-1260页

作者：邓昭镜西南师范大学物理系重庆630715

Schaber和Martin曾对(Na_(14)Cl_(13))^+分子集团的产额特性进行了较详细的实验研究。他们用四极质谱仪测得作为炉-口距分布函数的(Na_(14)Cl_(13))^+集团的产额。本文利用分形理论,对这些分布函数进行了数值模拟与理论分析。

关键词：超微粒蒸发源分布函数分形

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脉冲电弧蒸发源的研究

真空科学与技术学报 2004年第Z1期24卷 92-94页

作者：严一心朱昌杭凌侠弥谦蔡长龙徐均琪吴玲玲西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032 西安工业学院西安710032

本文介绍西安工业学院研制的脉冲电弧蒸发源的原渐变膜的性能指标.

关键词：脉冲电弧蒸发源离子镀类金刚石膜薄膜

多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研究

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真空 1992年第2期29卷 24-30页

作者：袁哲张树林李争显王福贞北京电炉厂东北工学院北京联合大学机械工程学院

多弧离子镀技术近年来发展极为迅速，已生产出多种类型的多弧离子镀设备并已投产使用。设备中阴极电弧蒸发源工作性能的好坏直接影响到产品质量。本文在大量实验的基础上对蒸发源的工作稳定性，进行了探讨、研究，分析其影响因素和原因... 详细信息

多弧离子镀技术近年来发展极为迅速，已生产出多种类型的多弧离子镀设备并已投产使用。设备中阴极电弧蒸发源工作性能的好坏直接影响到产品质量。本文在大量实验的基础上对蒸发源的工作稳定性，进行了探讨、研究，分析其影响因素和原因，并提出一些解决办法。

关键词：蒸发源稳定性离子镀阴极电弧

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用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源

真空 1992年第2期29卷 9-17,30页

作者：吴振华黄经筒游本章中国科学院电工研究所北京100080

本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上，发展了多功能受控电弧蒸发源，它可在自由电弧状态下运行，而在２００～２５０Ａ高参数运行时，可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转，使阴极烧蚀均匀，提高了镀膜沉积速率，薄膜质量... 详细信息

本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上，发展了多功能受控电弧蒸发源，它可在自由电弧状态下运行，而在２００～２５０Ａ高参数运行时，可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转，使阴极烧蚀均匀，提高了镀膜沉积速率，薄膜质量也相应提高。研制的另一种环形阴极旋转电弧蒸发源，可基本消除液滴，使阴极利用率更高。

关键词：真空电弧蒸发源电弧离子镀膜

ZG-15型卷绕镀膜机感应加热式蒸发源的设计

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真空 1990年第2期27卷 19-25页

作者：康哲苏长庆李石徐志强锦州真空设备厂

感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参... 详细信息

感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题，诸如坩埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍，并且指出了这种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。

关键词：镀膜机蒸发源设计真空镀膜

半连续式真空镀膜机电阻加热式蒸发源排列的探讨

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真空 1993年第1期 20-26页

作者：谭沃庆广东省南新镀膜厂广东省新会县529100

本文对引进镀膜机蒸发源的排列从理论上进行了分析，根据分析结果将蒸发源重新排列，在生产实践中取得了明显的节材、节能的经济效益。

关键词：真空镀膜机电阻蒸发源排列