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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 力学(可授工学、理...
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 微电子组件
  • 1 篇 膜/基组件
  • 1 篇 反转倍增
  • 1 篇 云纹法

机构

  • 1 篇 清华大学

作者

  • 1 篇 刘宝琛
  • 1 篇 史训清

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=膜/基组件"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
云纹干涉反转倍增法及其在微电子组件变形场测量中应用
收藏 引用
实验力学 1996年 第4期11卷 480-486页
作者: 刘宝琛 史训清 清华大学
本文提出并介绍了云纹干涉反转倍增法,该方法将光学载波、反转剪切、富立叶变换倍增技术巧妙地结合于云纹干涉光路中。利用载波频率,把带载波的云纹干涉变形图在富立叶变换系统中进行条纹倍增,而试样变形信息也倍增了相同倍数,将云... 详细信息
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