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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 直流
  • 1 篇 脉冲偏压协助
  • 1 篇 类富勒烯
  • 1 篇 低敏感性

机构

  • 1 篇 兰州理工大学
  • 1 篇 中国科学院兰州化...

作者

  • 1 篇 梁爱民
  • 1 篇 郭俊猛
  • 1 篇 张斌
  • 1 篇 王永富
  • 1 篇 欧玉静
  • 1 篇 张俊彦
  • 1 篇 高凯雄

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=脉冲偏压协助"
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直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究
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摩擦学学报 2015年 第1期35卷 82-89页
作者： 欧玉静 郭俊猛 王永富 高凯雄 梁爱民 张斌 张俊彦 兰州理工大学 甘肃兰州730000 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000
采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mcPECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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