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油气润滑在脆硬材料多线切割设备中的应用

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电子工业专用设备 2022年第3期51卷 43-47页

作者：周建军杨晓静中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176

针对半导体脆硬材料的切割加工成为多线切割设备发展的突出因素,通过与传统多线切割设备轴系比对分析,设计了适合碳化硅等脆硬材料切割加工设备轴系的油气润滑方式。通过实验比对得出使用油气润滑提升了多线切割设备的工艺优越性及精密性。

关键词：油气润滑脆硬材料多线切割

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脆硬材料的一次走刀镜面磨削技术

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磨床与磨削 1997年第1期 19-21,3页

作者：陈晓峰汉江机床厂 723003

用一般方法进行镜面磨削，需要按顺序使用粒度不同的砂轮（由粗到细）进行多次磨削方能完成，因此加工周期长、成本高。本文介绍一种用金属结合剂微细金刚石砂轮一次走刀完成镜面加工的方法。进行玻璃、陶瓷之类脆性材料的镜面磨削，一... 详细信息

用一般方法进行镜面磨削，需要按顺序使用粒度不同的砂轮（由粗到细）进行多次磨削方能完成，因此加工周期长、成本高。本文介绍一种用金属结合剂微细金刚石砂轮一次走刀完成镜面加工的方法。进行玻璃、陶瓷之类脆性材料的镜面磨削，一般使用磨粒直径为几微米或更细的金刚石砂轮。此类砂轮虽然适宜于磨削镜面，但是磨除能力和耐磨性极差，因而镜面磨削一般需要经过图1（a）所示的粗磨→半精磨→精磨→镜面磨割等加工工艺，总加工时间较长，加工成本很高。所谓的一次走刀镜面磨削法就是将粗磨出的加工面变质层一次磨除，一举生成所需精度镜面的方法［图1（b）］。

关键词：脆硬材料镜面磨削磨削一次走刀

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脆硬材料超高速磨削仿真研究

脆硬材料超高速磨削仿真研究

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作者：徐志鹏东北大学

学位级别：硕士

脆硬材料具有优良的机械、热学等性能,近年来被广泛应用于航空航天、机械、军事、精密制造等领域,而脆硬材料的高脆性和高硬度使其可加工性大大降低,被加工的零件大多会产生不同类型的表面损失,导致零件强度的降低。由于脆硬材料广阔的... 详细信息

脆硬材料具有优良的机械、热学等性能,近年来被广泛应用于航空航天、机械、军事、精密制造等领域,而脆硬材料的高脆性和高硬度使其可加工性大大降低,被加工的零件大多会产生不同类型的表面损失,导致零件强度的降低。由于脆硬材料广阔的应用前景及其磨削加工方法较低的生产效率、难以控制的表面质量,都要求对脆硬材料的磨削加工进行全面深入的研究。因此,本论文将超高速磨削工艺应用于脆硬材料加工,力求获得延性域加工,深入研究脆硬材料磨削加工机理,分析磨削参数对磨削力、磨削温度的影响规律,为提高加工效率和表面加工质量提供了理论支持。本论文针对脆硬材料磨削加工现存的优点与缺陷,推导出新的磨削模型,通过对脆硬材料超高速磨削的仿真,进而对脆硬材料磨削加工机理进行了深入研究。论文的研究工作主要包括以下几方面： (1)根据金刚石砂轮表面的实际形貌、磨粒形状的不规则性,建立了砂轮物理仿真模型。该模型的磨粒是六面锥体,结合模型参数计算得到了砂轮的有效磨粒数。 (2)根据脆硬材料的磨削机理,将材料去除过程分为塑性变形去除和脆性断裂去除,建立了针对脆硬材料的磨削力模型。采用该模型对Al2O3、Si3N4、SiC进行了仿真研究,分析了磨削参数对磨削力的影响规律。结果表明：在磨削过程中,塑性变形阶段磨削参数对磨削力的影响要大于脆性断裂阶段。 (3)考虑砂轮磨粒与结合剂不同的传热特性,建立了磨削热量分配模型,并结合三角形热源建立了平面磨削脆硬材料的温度分布模型。采用该模型进行MATLAB温度仿真,分析了磨削参数对温度分布的影响规律,磨削温度随着砂轮速度、磨削深度的增大而增大,同时在相同条件下采用有限元方法对脆硬材料进行了仿真,比较两种方法温度相差在允许范围内,初步验证磨削温度模型的建立具有可行性。 (4)采用VC++和OpenGL开发了仿真加工系统,能够获得最优磨削参数,更加直观、简便地反映出不同加工参数对脆硬材料平面磨削的影响规律。

关键词：脆硬材料超高速磨削磨削力仿真磨削温度

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单颗粒金刚石划擦脆硬材料的表面形貌影响因素研究

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金刚石与磨料磨具工程 2010年第1期30卷 1-4页

作者：胡珊珊王成勇卢锡泉罗其东胡映宁广西大学机械工程学院南宁530004 广东工业大学广州510090

本文通过以材料、进给速度及切深为因素的正交实验研究加工工艺对磨削力的影响,了解其对表面形貌影响的显著性,并通过单颗磨粒在已有轨迹表面上以一定的间距重复划擦来了解复杂轨迹对表面形貌及切削力的影响。结果表明各个加工参数影响... 详细信息

本文通过以材料、进给速度及切深为因素的正交实验研究加工工艺对磨削力的影响,了解其对表面形貌影响的显著性,并通过单颗磨粒在已有轨迹表面上以一定的间距重复划擦来了解复杂轨迹对表面形貌及切削力的影响。结果表明各个加工参数影响因素的主次排序为:材料>切深>进给速度,且重复轨迹划擦时表面形貌的变化与一次划擦不同,轨迹之间相互影响,在前一道大裂纹及破碎的影响下下一道轨迹的切削力急剧减小。

关键词：金刚石脆硬材料正交实验表面形貌

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