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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 传感器
  • 1 篇 背面引线
  • 1 篇 氢离子敏
  • 1 篇 压力敏

机构

  • 1 篇 东南大学

作者

  • 1 篇 林崴
  • 1 篇 牛蒙年

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=背面引线"
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背面引线压力／氢离子敏传感器的研究
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应用科学学报 1995年 第3期13卷 359-362页
作者： 牛蒙年 林崴 袁 东南大学
报道了一种含微参比电极的差分结构，并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应（ｐＨ－ＩＳＦＥＴ）新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规Ｎ阱ＭＯＳ工艺，研制成集成压力／ｐＨ－ＩＳＦ... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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