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  • 1 篇 期刊文献

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 背散射特性
  • 1 篇 微光夜视
  • 1 篇 ebcmos
  • 1 篇 弹性散射

机构

  • 1 篇 长春理工大学
  • 1 篇 微光夜视重点实验...

作者

  • 1 篇 宋德
  • 1 篇 陈卫军
  • 1 篇 吕蒙
  • 1 篇 王连锴
  • 1 篇 焦岗成
  • 1 篇 李野

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=背散射特性"
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排序:
EBCMOS中背散射电子的特性研究
收藏 引用
中国激光 2024年
作者: 吕蒙 宋德 焦岗成 李野 王连锴 陈卫军 微光夜视重点实验室 长春理工大学物理学院
基于高能电子与固体间相互作用原理和蒙特卡罗模拟方法,模拟研究了电子轰击CMOS中背部减薄CMOS表面附近背散射电子的特性。我们主要研究了背散射电子特性中的角分布(θB和ΦB)、背散射电子数与入射电子数之比(RBI)以及背散射电子与入... 详细信息
来源: 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论