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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 2 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 3 篇 背吹气法
  • 3 篇 静电卡盘
  • 3 篇 氧化层
  • 3 篇 等效电容方法
  • 2 篇 静电场
  • 1 篇 j-r效应

机构

  • 3 篇 北京工业大学
  • 2 篇 北京北方华创微电...
  • 1 篇 北京北方华创微电...

作者

  • 3 篇 孙诗壮
  • 3 篇 赵晋荣

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=背吹气法"
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库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究
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真空科学与技术学报 2023年 第8期43卷 681-688页
作者： 孙诗壮 赵晋荣 北京工业大学材料与制造学部 北京100124 北京北方华创微电子装备有限公司 北京100176
静电卡盘是半导体领域中关键器件,主要起到支撑固定晶圆的作用。文章利用麦克斯韦仿真软件计算了静电卡盘工作时,电极周围电压分布,得到了电极边缘效应小于4%,电极边缘效应对吸附力的影响可以忽略不计的结论;并依据等效电容的方法建立... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
晶圆材料对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究
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真空科学与技术学报 2023年 第6期43卷 554-562页
作者： 孙诗壮 赵晋荣 北京工业大学材料与制造学部 北京100124 北京北方华创微电子装备有限公司 北京100176
静电卡盘是半导体以及光学设备中关键器件之一,主要起到固定衬底快速加热的作用。本研究中搭建了真空腔室平台,并依据气体背吹法,测试了约翰逊-拉别克型静电卡盘对不同电压下不同材料晶圆的吸附力。本文通过对氧化层电学性质及静电卡盘... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
库伦型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究
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真空科学与技术学报 2023年
作者： 孙诗壮 赵晋荣 北京工业大学光学工程 北京北方华创微电子装备有限公司PVD事业部
静电卡盘是半导体领域中关键器件，主要起到支撑固定晶圆的作用。本研究利用麦克斯韦仿真软件计算了静电卡盘工作时，电极周围电压分布，得到了电极边缘效应小于4%，电极边缘效应对吸附力的影响可以忽略不计的结论；并依据等效电容的方... 详细信息
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