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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 聚酰亚胺场发射复...

机构

  • 1 篇 福州大学

作者

  • 1 篇 张永爱
  • 1 篇 郭太良
  • 1 篇 于光龙
  • 1 篇 郑灼勇
  • 1 篇 陈景水
  • 1 篇 张志坚

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=聚酰亚胺场发射复合薄膜后栅型"
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SiO_2/聚酰亚胺/SiO_2复合薄膜绝缘性能及基于聚酰亚胺复合薄膜的后栅型场致发射性能的研究
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真空科学与技术学报 2012年 第3期32卷 214-218页
作者： 郑灼勇 于光龙 张志坚 陈景水 郭太良 张永爱 福州大学物理与信息工程学院 福州350002
使用射频磁控溅射和化学溶液法制备了SiO2/聚酰亚胺(PI)/SiO2绝缘膜。分别使用X射线衍射、扫描电镜对薄膜结构和薄膜表面形貌进行了表征;利用超高阻微电流测试仪测试了SiO2/PI/SiO2复合绝缘膜漏电流和电压击穿特性;采用SiO2/PI/SiO2作... 详细信息
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