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学科分类号

  • 4 篇 工学
    • 2 篇 光学工程
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    • 2 篇 材料科学与工程（可...
    • 2 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 机械工程
  • 2 篇 理学
    • 2 篇 物理学

主题

  • 5 篇 聚焦电子束
  • 2 篇 聚焦离子束
  • 2 篇 刻蚀
  • 1 篇 石墨烯
  • 1 篇 自然衬度
  • 1 篇 电子束直径
  • 1 篇 亚微米
  • 1 篇 纳米技术
  • 1 篇 测序
  • 1 篇 双束
  • 1 篇 三维成像
  • 1 篇 p沟道结型场效应晶...
  • 1 篇 束漂移
  • 1 篇 信噪比
  • 1 篇 显微结构
  • 1 篇 有源漂移抑制法
  • 1 篇 光刻
  • 1 篇 扫描电镜
  • 1 篇 分辨率
  • 1 篇 取样区

机构

  • 1 篇 国防科学技术大学
  • 1 篇 东南大学
  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 上海交通大学
  • 1 篇 苏州大学
  • 1 篇 华南理工大学
  • 1 篇 多伦多大学
  • 1 篇 温州大学
  • 1 篇 江苏省先进机器人...

作者

  • 1 篇 陈俊
  • 1 篇 刘心红
  • 1 篇 汝长海
  • 1 篇 毕建华
  • 1 篇 陆家和
  • 1 篇 田吴翟
  • 1 篇 孟庆林
  • 1 篇 程秀兰
  • 1 篇 谷森
  • 1 篇 郭莉萍
  • 1 篇 张大同
  • 1 篇 张学骜
  • 1 篇 余旭丰
  • 1 篇 黄少铭
  • 1 篇 谢骁
  • 1 篇 胡志平
  • 1 篇 俞学东
  • 1 篇 方靖岳
  • 1 篇 唐飞扬
  • 1 篇 王跃

语言

  • 5 篇 中文
检索条件"主题词=聚焦电子束"
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聚焦电子/离子束技术的原理及应用
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大学物理实验 2013年 第3期26卷 50-54页
作者： 田吴翟 方靖岳 张学骜 国防科学技术大学 湖南长沙410073
总结近几年来聚焦电子/离子束双束技术的发展概况和主要应用领域,主要对双束系统的结构、原理及其在刻蚀、沉积、离子注入、显微成像和能谱分析等几方面的应用发展进行介绍,讨论双束技术未来发展的趋势。
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石墨烯纳米孔的制备及λ-DNA穿孔初步研究
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化学学报 2014年 第3期72卷 378-381页
作者： 王跃 余旭丰 刘芸芸 谢骁 程秀兰 黄少铭 王志民 上海交通大学农业与生物学院 上海200240 上海交通大学微电子学院 上海200240 温州大学化学与材料工程学院 温州325027 东南大学-FEI纳皮米中心 南京210096
纳米孔测序是有可能实现"$1,000 Genome"目标的技术之一.近年来,研究较多的纳米孔有蛋白质纳米孔和硅基材料的固态纳米孔.蛋白孔寿命比较短,而基于硅基底的固态纳米孔深度显著超过单链DNA相邻碱基的间距,所以,无法实现DNA的单个碱基的分... 详细信息
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二次电子像质量
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电子显微学报 2003年 第6期22卷 653-654页
作者： 郭莉萍 吴东晓 张大同 华南理工大学测试中心 广东广州510641
扫描电镜（SEM）中，一幅高质量的图像应该满足三个条件：一是分辨率好，显微结构清晰可辨；二是衬度适中，输送中无论是黑区还是白区的细节都能看清楚；三是信噪比好，没有明显的雪花状噪声。其中分辨率是最重要的指标。多年来为提高... 详细信息
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原位AFM自感应PRC力传感器读数漂移的有源漂移抑制法
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半导体技术 2020年 第3期45卷 229-235页
作者： 唐飞扬 谷森 陈俊 胡志平 孟庆林 汝长海 苏州大学机器人与微系统研究中心 江苏苏州215021 多伦多大学机械与工业工程学院 加拿大多伦多M5S2E8 江苏省先进机器人技术重点实验室 江苏苏州215123
为解决面向扫描电子显微镜(SEM)的原位原子力显微镜(AFM)工作时SEM的聚焦电子束引起原位AFM自感应压阻式微悬臂梁(PRC)力传感器读数持续漂移的难题,首先建立原位AFM自感应PRC力传感器的p沟道结型场效应晶体管(JFET)读数漂移模型,分析SE... 详细信息
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亚微米聚焦离子束的漂移现象
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真空科学与技术 1997年 第3期17卷 167-174页
作者： 俞学东 毕建华 刘心红 宋风华 陆家和 清华大学电子工程系 北京100084
研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起漂移的大小；发现了由于外壳温度... 详细信息
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