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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 耦合差动
  • 1 篇 激光干涉
  • 1 篇 纳米精度
  • 1 篇 误差分析

机构

  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 齐永岳
  • 1 篇 赵美蓉
  • 1 篇 林玉池

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=耦合差动"
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高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究
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引用
传感器与微系统 2009年 第4期28卷 50-53页
作者： 齐永岳 赵美蓉 林玉池 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系统精度在理论分析的基础上进行了估算,得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1.8 nm。采用... 详细信息
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