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物理学报 2014年第19期63卷 87-93页

作者：付明磊乐孜纯周寒青张明全必胜王华毛成文王昌辉沈小燕浙江工业大学理学院杭州310023 浙江工业大学光学工程研究所杭州310023 中国科学院上海应用物理研究所上海201204

X射线组合折射透镜(CRL)已逐步成为同步辐射光源下X射线聚焦光学器件的标准配件之一,它具有结构紧凑、易调节校准、适用光子能量范围大等优点.本文设计了一种级联式平面抛物面型CRL,它将N1个具有较大抛物面几何孔径(R0)的折射单元I与N2... 详细信息

X射线组合折射透镜(CRL)已逐步成为同步辐射光源下X射线聚焦光学器件的标准配件之一,它具有结构紧凑、易调节校准、适用光子能量范围大等优点.本文设计了一种级联式平面抛物面型CRL,它将N1个具有较大抛物面几何孔径(R0)的折射单元I与N2个具有较小抛物面顶点曲率半径(R)的折射单元II级联,以解决常规CRL设计过程中焦斑尺寸与透过率的矛盾.采用PMMA材料,利用LIGA技术制作了一组级联式平面抛物面型CRL,其中折射单元I的主要结构参数为N1=15,R1=200μm,2R01=564μm;折射单元II的主要结构参数为N2=20,R2=50μm,2R02=140μm.在上海光源同步辐射线束上,所制作的级联式平面抛物面型CRL实现了对初始光斑尺寸为200μm×100μm的入射X射线的一维聚焦,测试得到的焦距为1.052 m,横向焦斑尺寸为24.9μm@8 keV,透过率为2.19%.

关键词：组合折射透镜 X射线光学器件抛物面型透镜

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背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

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物理学报 2009年第3期58卷 1526-1530页

作者：朱艳青梁静秋梁中翥黄鑫华乐孜纯伊福廷侯凤杰黄万霞董文王维彪王志立崔乃迪中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033 中国科学院研究生院北京100049 浙江工业大学杭州310032 中国科学院高能物理研究所北京100049

在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线... 详细信息

在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

关键词：组合折射透镜背面曝光沙漏状 SU-8

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级联式X射线组合折射透镜优化

级联式X射线组合折射透镜优化

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2015光学精密工程论坛

作者：周寒青付明磊乐孜纯浙江工业大学理学院

为了得到短焦距、高增益的X射线组合折射透镜(CRL),对CRL的结构参数进行了优化,提出一种用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料制作的由两个折射单元级联的新型抛物面型X射线组合折射透镜。推导了CRL的光学特性参数,数值分析了单一折射单元的组... 详细信息

为了得到短焦距、高增益的X射线组合折射透镜(CRL),对CRL的结构参数进行了优化,提出一种用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料制作的由两个折射单元级联的新型抛物面型X射线组合折射透镜。推导了CRL的光学特性参数,数值分析了单一折射单元的组合折射透镜和级联式组合折射透镜的光学性能。结果显示:级联式CRL比相同几何孔径和曲率半径的单一折射单元CRL具有更小的焦距和更大的增益。所设计的3组透镜的焦距分别缩短了33.3%,66.7%和40.5%,增益分别提高了23.9%,60.9%和27.6%。新型的级联式组合折射透镜有望对一维X射线聚焦性能进行较好的调控,在微束X射线分析中具有较好的应用前景。

关键词：抛物面型透镜级联式X射线透镜组合折射透镜光学性能

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微束XRF系统中X射线聚焦光学元件研究

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光学仪器 2014年第3期36卷 239-242,252页

作者：王俊杰付明磊乐孜纯浙江工业大学理学院浙江杭州310023 浙江工业大学光学工程研究所浙江杭州310023

高性能X射线聚焦光学元件是实现亚微米分辨率微束X射线荧光分析系统(XRF)的关键器件。给出一种新型的微束XRF系统设计结构,介绍两种典型的X射线聚焦光学元件:X射线聚焦毛细管透镜和X射线组合折射透镜的结构与光学参数。数值计算比较了X... 详细信息

高性能X射线聚焦光学元件是实现亚微米分辨率微束X射线荧光分析系统(XRF)的关键器件。给出一种新型的微束XRF系统设计结构,介绍两种典型的X射线聚焦光学元件:X射线聚焦毛细管透镜和X射线组合折射透镜的结构与光学参数。数值计算比较了X射线聚焦毛细管透镜和X射线组合折射透镜的光学聚焦性能。分析结果体现了X射线聚焦组合透镜作为聚焦光学元件在焦斑大小、透过率、强度增益和检测范围等方面的优势。

关键词： X射线荧光分析系统聚焦毛细管透镜组合折射透镜

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