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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 脉冲激光沉积
  • 1 篇 表征
  • 1 篇 纳米超硬多层膜

机构

  • 1 篇 浙江工业大学

作者

  • 1 篇 陈小明
  • 1 篇 柴国钟
  • 1 篇 宋仁国
  • 1 篇 唐普洪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=纳米超硬多层膜"
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纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势
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材料导报 2008年 第2期22卷 18-21页
作者： 唐普洪 宋仁国 柴国钟 陈小明 浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室
分别从溅射法和蒸发法两个方面评述了近年来纳米多层膜制备工艺的最新进展,在此基础上介绍了脉冲激光沉积(PLD)工艺制备纳米超硬多层膜的新方法。对典型的超硬膜TiN、(Ti,Zr)N、(Ti,Al)N、TiN/SiO2、B1-SiC、TiN/SiN4进行了简单回顾,并... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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