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学科分类号

  • 1 篇 工学
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    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 β-ga_(2)o_(3)
  • 1 篇 纳米点阵薄膜
  • 1 篇 mocvd

机构

  • 1 篇 吉林大学

作者

  • 1 篇 李政达
  • 1 篇 陈威
  • 1 篇 焦腾
  • 1 篇 李赜明
  • 1 篇 党新明
  • 1 篇 刁肇悌
  • 1 篇 董鑫
  • 1 篇 陈佩然

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=纳米点阵薄膜"
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GaAs衬底上β-Ga_(2)O_(3)纳米点阵薄膜的MOCVD制备
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半导体光电 2022年 第3期43卷 438-443页
作者： 陈威 焦腾 李赜明 刁肇悌 李政达 党新明 陈佩然 董鑫 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室 长春130012
将热氧化与MOCVD工艺相结合,总结了一种在本征GaAs衬底上进行β-Ga_(2)O_(3)纳米点阵薄膜制备的工艺,该工艺不涉及金属催化剂与复杂刻蚀,工艺更为简单。使用扫描电子显微镜对所制备薄膜的形貌特征进行了表征与分析,发现所制备的纳米点... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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