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检索条件"主题词=纳米位移测量系统"
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基于LVDT的纳米级位移测量系统设计与实现
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自动化与仪表 2012年 第12期27卷 1-4,41页
作者： 陈刚 张波 刘品宽 上海交通大学机器人研究所 上海200240
提出了一种基于数字信号处理器的线性可变差动变压器LVDT(linear variabledifferential transformer)解码方案,设计了解码器的硬件系统和软件系统。其中采用脉宽调制技术PWM(pulse width modulation)产生LVDT的激励信号,应用Goertzel算... 详细信息
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Study on compound ultra-precision alignment technique
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仪器仪表学报 2007年 第10期28卷 1741-1745页
作者： Zhang Jinlong Yang Ankang Liu Jingnan Yoshiyuki Uchidas College of Electrical and Automatic Engineering Nanjing Normal Univ. Nanjing 210042 China Automation College Southeast Univ. Nanjing 210096 China Department of lnformation Network Engineering Aichi Institute of Technology Toyoda 470-0392 Japan
A nano-displacement measurement system with duo-gratings is analyzed by using optics theory,a math- ematic model for the system is established,and the characteristic of laser Moirésignals is studied through CAD simu-... 详细信息
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