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二氧化碲晶体及其在红外器件中的应用研究进展

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无机材料学报 2015年第8期30卷 802-808页

作者：朱勇岳世海王威殷学技葛增伟中国科学院上海硅酸盐研究所中国科学院透明光功能无机材料重点实验室上海200050

二氧化碲(TeO2)晶体同时具有优异的声光性能和高自然丰度的130Te双b衰变性能,既可用于高性能声光器件,也可用于中微子与暗物质研究。近年来,这两方面的应用都对TeO2晶体的尺寸和质量提出了更高要求。本文简要介绍了TeO2晶体的结构与物... 详细信息

二氧化碲(TeO2)晶体同时具有优异的声光性能和高自然丰度的130Te双b衰变性能,既可用于高性能声光器件,也可用于中微子与暗物质研究。近年来,这两方面的应用都对TeO2晶体的尺寸和质量提出了更高要求。本文简要介绍了TeO2晶体的结构与物理性能,综述了大尺寸、高质量TeO2晶体制备的研究进展以及该晶体在红外器件中的应用进展,最后展望了TeO2晶体的制备与应用趋势。

关键词： TeO2晶体制备红外器件综述

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ME MS技术用于红外器件制作

激光与红外 2003年第3期33卷 212-214页

作者：李兰刘铮邹德恕沈光地北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室北京100022

MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此... 详细信息

MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此也开始被红外技术领域所采用,为该领域研究提供了一条新途径。文中简要介绍了MEMS技术的主要特点和工艺,并对MEMS技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述。

关键词： MEMS MOEMS 红外器件 IR光源微细加工技术微电子机械系统焦平面阵列

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“新型红外器件”专栏序目

红外与激光工程 2020年第1期49卷 I0004-I0005页

作者：龚海梅卢进司俊杰史衍丽中国科学院上海技术物理研究所天津津航技术物理研究所中国空空导弹研究院特级专务、航空工业红外探测器技术航空科技重点实验室云南大学

红外探测技术在全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域具有重要的应用价值。面向高空间分辨率、高光谱分辨率、高时间分辨率、高辐射分辨率以及多场景应用的红外探测需求,基于Ⅱ-Ⅵ族体系和Ⅲ-族... 详细信息

红外探测技术在全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域具有重要的应用价值。面向高空间分辨率、高光谱分辨率、高时间分辨率、高辐射分辨率以及多场景应用的红外探测需求,基于Ⅱ-Ⅵ族体系和Ⅲ-族光电材料体系等,新一代红外器件正在朝大面阵、宽光谱、高速、高探测率以及智能化方向发展,对我国经济、社会、国家安全及科学技术的进步具有重大意义。

关键词：高光谱分辨率高空间分辨率智能化方向红外器件红外探测技术高时间分辨率光电材料国土资源

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类金刚石薄膜碲镉汞红外器件钝化膜的研究

人工晶体学报 2000年第3期29卷 253-256页

作者：居建华夏义本上海大学材料科学与工程学院

采用等离子增强化学气相法（ＰＥＣＶＤ）在碲镉汞（ＭＣＴ）衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜（ＤＬＣ）。用原子力显微镜（ＡＦＭ）和侧向力显微镜（ＬＦＭ）和对ＤＬＣ和ＭＣＴ表面形貌进行表征；用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）和ＤＬ... 详细信息

采用等离子增强化学气相法（ＰＥＣＶＤ）在碲镉汞（ＭＣＴ）衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜（ＤＬＣ）。用原子力显微镜（ＡＦＭ）和侧向力显微镜（ＬＦＭ）和对ＤＬＣ和ＭＣＴ表面形貌进行表征；用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）和ＤＬＣ／ＭＣ面附近各元素含量的分布进行分析研究。结果表明：当膜厚达到２５ｎｍ以上，这种ＤＬＣ膜就能够有效地抑制ＭＣＴ中ＨｇＴｅ的分解和Ｈｇ与Ｔｅ的外扩散。ＡＦＭ和ＬＦＭ的观察结果表明。

关键词：类金刚石薄膜钝化膜界面红外器件碲镉汞

基于四极质谱仪的红外器件排气封装工艺的研究

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基于四极质谱仪的红外器件排气封装工艺的研究

作者：郭庆瑞电子科技大学

学位级别：硕士

非制冷红外探测器需要在一定的真空度下才能正常工作,因而器件的真空寿命是其重要技术指标之一。而对红外器件的真空寿命起到至关重要作用的是封装工艺,尤其是红外器件封装的封焊工艺和烘烤排气工艺。四极质谱仪是一种分压力测量仪器,... 详细信息

非制冷红外探测器需要在一定的真空度下才能正常工作,因而器件的真空寿命是其重要技术指标之一。而对红外器件的真空寿命起到至关重要作用的是封装工艺,尤其是红外器件封装的封焊工艺和烘烤排气工艺。四极质谱仪是一种分压力测量仪器,可以有效地对所测环境中残余气体成分及含量的变化实施动态检测,在电子真空器件中有着独特的优势。本论文研究的目的是保证非制冷红外探测器真空寿命的同时优化红外器件的封装工艺,基于四极质谱仪的原理对器件封装关键的检漏工艺和排气工艺进行实验研究及优化。主要的研究内容包括:(1)研究并总结了非制冷红外探测器的结构、作用、主要构成材料并通过理论计算研究分析了封装工艺对其真空寿命的影响情况。(2)研究并分析了四极质谱仪的结构、工作原理、主要性能指标以及四极质谱仪在红外器件封装工艺中的应用。(3)对非制冷红外探测器封装工艺流程进行了介绍。同时,基于四极质谱仪的原理,理论研究了红外器件关键的检漏工艺和排气工艺,并分析了他们涉及到的工艺参数和实验方法(4)本论文针对非制冷红外探测器封装工艺中高精度检漏结果重复性较差的问题,通过增加样本点,并利用Matlab软件对检漏中四极质谱仪测试的数据进行统计处理,很好地改善了检漏结果的重复性。(5)实验研究了非制冷红外探测器排气工艺中烘烤温度的影响。采用质谱法,对真空排气系统本底和非制冷红外探测器的主要构成材料(金属、陶瓷、银浆)分别进行不同温度烘烤下的放气特性研究。研究表明:器件有效烘烤温度为145℃(器件最高可承受温度为160℃),此时银浆材料为器件内部主要的放气源。(6)实验研究了非制冷红外探测器排气工艺中烘烤时间的影响。采用质谱检测理论,在有效烘烤温度下,对非制冷红外探测器整体进行长时间烘烤下的放气特性研究。研究得出烘烤时间的出气现象及特性,并最终确定非制冷红外探测器的有效烘烤时间为24h。

关键词：四极质谱仪红外器件检漏烘烤排气

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红外器件用氩弧焊工艺及专用焊机的研制

激光与红外 1983年第8期 28-32页

作者：刘忠惠电子部11所

红外器件的性能和使用寿命与器件和杜瓦瓶有关。杜瓦瓶的使用寿命与“真空度”保持时间有关。封接环的焊接质量又决定着真空度保持时间。因此,本文着重讨论保证封接环焊接质量的有关问题。目前封接技术有如下四种方法:即直接熔封、烙铁... 详细信息

红外器件的性能和使用寿命与器件和杜瓦瓶有关。杜瓦瓶的使用寿命与“真空度”保持时间有关。封接环的焊接质量又决定着真空度保持时间。因此,本文着重讨论保证封接环焊接质量的有关问题。目前封接技术有如下四种方法:即直接熔封、烙铁锡焊、胶封和氩弧焊焊封。由于氩弧焊,特别是高频脉冲氩弧焊性能优越,质量可靠。因此,我们选用703所JHD-05-3型焊接电源,研制成焊接玻璃杜瓦瓶封接环的专用焊机。经过工艺试验,于1982年成功地用于交货产品的焊接。

关键词：红外器件专用焊机烙铁锡焊杜瓦瓶低温容器封接

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红外器件与材料专题题录介绍(二)

红外与激光工程 1990年第2期 79-82页

作者：陆荣铿

红外器件钝化膜专用磁控溅射系统镀膜工艺研究

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电子工业专用设备 2024年第2期53卷 33-38页

作者：刘杰黄也袁祖浩佘鹏程石任凭何秋福中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙421500

为研究工艺参数对碲镉汞红外器件单层钝化膜工艺影响规律,采用红外器件钝化膜专用磁控溅射系统设备作为实验载体,通过仿真优化指导设计磁控溅射阴极靶,加快实现磁控溅射靶的制备;并采用仿真与实验相结合的方法研究靶基距、靶偏置角度等... 详细信息

为研究工艺参数对碲镉汞红外器件单层钝化膜工艺影响规律,采用红外器件钝化膜专用磁控溅射系统设备作为实验载体,通过仿真优化指导设计磁控溅射阴极靶,加快实现磁控溅射靶的制备;并采用仿真与实验相结合的方法研究靶基距、靶偏置角度等工艺参数对镀膜均匀性的影响规律,获得较优的一组工艺参数值,为钝化膜工艺形成稳定、均匀性较好的膜层提供理论指导,为进一步研究双层钝化膜层奠定基础。

关键词：碲镉汞红外器件钝化膜磁控溅射工艺参数均匀性

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红外器件用InSb体单晶

电子材料快报 1999年第8期 14-15页

作者：毕叔和