检索结果-南通市图书馆

作者：韩彬南京理工大学

学位级别：硕士

作为重要的大气窗口,8μm～12μm是常用的红外波段,涵盖了常用的发动机、驱动设备和燃气等热源所发出的红外波波长范围。常用于探测车辆、飞机和舰艇等目标。本文所进行的工艺研究是针对某型直升机机载观瞄系统中红外光学元件的减反射... 详细信息

作为重要的大气窗口,8μm～12μm是常用的红外波段,涵盖了常用的发动机、驱动设备和燃气等热源所发出的红外波波长范围。常用于探测车辆、飞机和舰艇等目标。本文所进行的工艺研究是针对某型直升机机载观瞄系统中红外光学元件的减反射膜镀膜加工。系统中红外光学元件所使用的基板材料有锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)两种,对薄膜的技术要求为：8μm～12μm范围内平均透射率不小于95%。针对要求,参考红外减反射光学薄膜的常用加工方式,并考察已有的镀膜、测量设备和具备的其他条件。确定选择在真空状态下使用电阻热蒸发和电子束蒸发这种最为常见和经济的沉积方式来沉积薄膜材料,同时利用离子源辅助沉积技术用以提高所制备光学薄膜的物理特性。在确定了试验方式后,编制了试验方案：首先,依照经典薄膜理论中减反射膜的光学原理,确定了薄膜的初始模型。然后,分析了常用的红外薄膜材料的具体性能,并根据需要对材料进行了选择。选取了真空度、温度等影响材料特性的过程参数并在确定的状态下得出优选材料的材料参数,并将材料参数导入膜系软件中。最后,选择适当的优化方式对初始膜系设计进行了进一步的优化,设计出较为理想的膜系结构设计方案。在锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)两种材料基底上将确定的试验方案分别进行了试验,并对试验结果进行光谱及耐受测试。测试结果为：在8μm～12μm范围内,锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)基底上平均透射率分别为96.1%和97.8%,并且能够承受耐高温、湿热等恶劣环境的测试。在锗(Ge)和硒化锌(ZnSe)基底上镀制的减反射薄膜满足系统技术要求。

关键词： 8μm~12μm 红外减反射膜锗硒化锌 APS 离子辅助沉积

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锗基底7～11．5μm高性能红外宽带减反射膜的研究

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应用光学 2005年第6期26卷 63-65页

作者：潘永强朱昌杭凌侠西安工业学院光电工程学院陕西西安710032

为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7～11.5 μm波段宽带... 详细信息

为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7～11.5 μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.5%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97.5%,膜层附着性能好,光机性能稳定.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.

关键词：红外减反射膜离子束辅助沉积锗基底

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光谱探测中的超宽带减反射膜

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光子学报 2015年第8期44卷 1-5页

作者：付秀华潘永刚刘冬梅张静熊仕富长春理工大学光电工程学院长春130022

设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速... 详细信息

设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.

关键词：红外减反射膜声光可调滤光器共蒸发技术 TeO2晶体材料吸收

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用热应力法研究二氧化碲晶体表面连接层材料的特性

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光子学报 2016年第1期45卷 31-35页

作者：付秀华潘永刚董军刘冬梅张静长春理工大学光电工程学院长春130022 长春一东离合器股份有限公司长春130012

以声光晶体TeO_2为衬底,设计并研制了1 300~3 400nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发,建立膜层热应力受力示意图,结合TeO_2晶体的特性和力矩判定方法,采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明：所... 详细信息

以声光晶体TeO_2为衬底,设计并研制了1 300~3 400nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发,建立膜层热应力受力示意图,结合TeO_2晶体的特性和力矩判定方法,采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明：所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下,采用连接层所制备的薄膜附着力更好,可以解决脱膜问题,满足相应的附着力检测要求.

关键词：薄膜红外减反射膜真空电子束镀膜 TeO2晶体薄膜热应力力矩判定声光可调滤波器

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