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主题

  • 2 篇 应力
  • 2 篇 硅
  • 2 篇 红外光弹性
  • 1 篇 离子注入
  • 1 篇 晶体
  • 1 篇 光弹性
  • 1 篇 烧结
  • 1 篇 晶闸管

机构

  • 2 篇 华南理工大学

作者

  • 2 篇 赵寿南
  • 1 篇 彭海鲸
  • 1 篇 梁汉成
  • 1 篇 蒋连生

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=红外光弹性"
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硅晶闸管烧结应力的红外光弹性研究
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红外与毫米波学报 1998年 第1期17卷 42-47页
作者： 彭海鲸 赵寿南 华南理工大学应用物理系
参考热弹性理论和复合材料层间应力理论，研究了Ｓｉ片／Ａｌ箔／Ｍｏ片烧结后的层间应力及硅片中的应力．热膨胀性能不同引起的热应力在硅片中的中间和边缘区域分布情况不一样，推导出适用于边缘区域的应力计算表达式．用红外光弹测量... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究
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红外研究 1990年 第6期9卷 425-429页
作者： 蒋连生 赵寿南 梁汉成 华南理工大学物理系 广东广州510641
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进行了研究。
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