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  • 1 篇 期刊文献

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主题

  • 1 篇 光致发光
  • 1 篇 系统生长
  • 1 篇 电子迁移率
  • 1 篇 气相外延生长
  • 1 篇 外延层
  • 1 篇 电子密度
  • 1 篇 杂质分布
  • 1 篇 电子浓度
  • 1 篇 电导率

作者

  • 1 篇 m.ihara
  • 1 篇 王家源
  • 1 篇 m.ozeki
  • 1 篇 k.dazai

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=系统生长"
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氮气氛中砷化镓的气相外延生长
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微纳电子技术 1975年 第3期 20-28页
作者： K.Dazai M.Ihara M.Ozeki 王家源
对开管AsCl;—Ga—N;气体输运技术的砷化镓外延生长进行了充分的试验,就其最佳生长条件进行了若干补充讨论。比较了氮气及氢气携带气体中的外延层生长的霍耳迁移率、杂质分布及光致发光研究的结果。若干实验成功地揭示了未掺杂外延层中... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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