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精缩拼图制作超大芯片掩模版

半导体技术 1987年第5期 7-9页

作者：熊高文国营新光电工厂

随着电子工业的迅速发展,集成电路制版已有相当精密的成套设备.图象发生器问世之前,版图设计既使按很小的比例画图,有时其几何尺寸也很大,初缩机稿架比之还将略大才可能使照度均匀.图象发生器的使用园满地解决了大图小稿架的矛盾,但目... 详细信息

随着电子工业的迅速发展,集成电路制版已有相当精密的成套设备.图象发生器问世之前,版图设计既使按很小的比例画图,有时其几何尺寸也很大,初缩机稿架比之还将略大才可能使照度均匀.图象发生器的使用园满地解决了大图小稿架的矛盾,但目前国内需要制掩模版的不少行业并未能普遍使用图象发生器加工初缩版,用电子扫描一次作成掩模版的更是曲指可数了.对于目前普遍使用传统工艺设备

关键词：精缩掩模版精缩机套刻芯片超大

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精缩镜头加工工艺

电子工业专用设备 1978年第3期 36-39页

我所研制的JS—3型精缩照相机上的镜头是从今年三月份开始研制的,此镜头设计精度很高,特别是光学另件的面形和中心厚度公差,镜片的偏心差,空气间隔等等要求很严格。为了达到设计要求我们对此镜头作了一些工作,现将加工试制方面的肤浅的... 详细信息

我所研制的JS—3型精缩照相机上的镜头是从今年三月份开始研制的,此镜头设计精度很高,特别是光学另件的面形和中心厚度公差,镜片的偏心差,空气间隔等等要求很严格。为了达到设计要求我们对此镜头作了一些工作,现将加工试制方面的肤浅的体会汇报如下:

关键词：镜头厚度公差面形尺寸公差精缩光圈加工技术加工工艺

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精缩照相机精缩镜头设计

电子工业专用设备 1978年第3期 33-36页

作者：王庆丰

在半导体集成电路制造工艺中,照相制版工序是关键之一。目前,大规模集成电路的制作对精缩掩模版的要求已相当高,为满足照相制版的需要,对精缩镜头的要求也越来越高。大规模集成电路制版技术,大大地促进了高精度镜头的研制,电子计算机的... 详细信息

在半导体集成电路制造工艺中,照相制版工序是关键之一。目前,大规模集成电路的制作对精缩掩模版的要求已相当高,为满足照相制版的需要,对精缩镜头的要求也越来越高。大规模集成电路制版技术,大大地促进了高精度镜头的研制,电子计算机的广泛应用又为设计高质量镜头提供了可能。

关键词：精缩光学传递函数光学转移函数极限分辨率入射光瞳入瞳镜头设计像面视场鉴别率分辨率精缩机线条国画技法最小距离空间频率相干光弱光

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精缩镜头光学设计

光学工程 1983年第4期 1-4页

作者：叶宝珠

本文简要介绍缩小四倍精缩镜头的光学设计考虑、参数确定、镜头的结构型式选择、设计结果及质量评价。

关键词：精缩镜头光学设计光学传递函数视场计量光栅

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大视场高分辨率精缩制版镜头设计

应用光学 1982年第5期 6-18页

作者：林金波浙江大学

前言精缩制版镜头为半导体集成电路制版工艺的重要设备之一。集成电路特别是大规模集成电路的制作对精缩制版镜头提出越来越高的要求。希望精缩镜头有尽量大的视场,尽量高的分辨本领。

关键词：精缩放大倍率分辨本领象质放大率象差正透镜镜头设计高分辨力高分辨率

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大视场高分辨率精缩制版镜头设计

浙江大学学报(工学版) 1982年第1期 125-137页

作者：林金波

本文讨论放大率为1/10,相对孔径与视场分别为1/1.8,φ4mm和1/1.4,φ8mm两种精缩制版镜头象差校正方法,以达到象差的最佳校正,使所设计的镜头满足接近衍射极限的高分辨率的设计要求。本文所讨论的一些方法也适用于复杂化型双高斯系统的... 详细信息

本文讨论放大率为1/10,相对孔径与视场分别为1/1.8,φ4mm和1/1.4,φ8mm两种精缩制版镜头象差校正方法,以达到象差的最佳校正,使所设计的镜头满足接近衍射极限的高分辨率的设计要求。本文所讨论的一些方法也适用于复杂化型双高斯系统的设计工作。

关键词：精缩分辫率大视场镜头设计象差相对孔径高斯透镜组高分辨率高分辨力

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JS—3型光栅定位精缩照相机

电子工业专用设备 1978年第3期 11-18页

制版是半导体集成电路生产的第一道工序,掩模的套准精度、表面质量,直接影响电路的质量及成品率。在超大规模之前的中大规模集成电路的发展中,常规的制版,甚至在自动制版系统中,精缩照相机仍然是制版工艺的一项关键设备。 1970年前后,... 详细信息

制版是半导体集成电路生产的第一道工序,掩模的套准精度、表面质量,直接影响电路的质量及成品率。在超大规模之前的中大规模集成电路的发展中,常规的制版,甚至在自动制版系统中,精缩照相机仍然是制版工艺的一项关键设备。 1970年前后,国外精缩照相机已有系列化定型产品,包括单头机和多头机。单元图形面积最大可达10×10毫米,掩模最大面积可达到150×150毫米,线条达到1微米,重复精度达到±0.1微米～±0.25微米(标准误差),其定位方式基本上采用激光和光栅两种形式。这些设备已能满足

关键词：精缩光栅照相机精缩机定位点 JS

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基于儿童阅读心理的绘本精缩改编研究

牡丹江教育学院学报 2015年第9期 15-16页

作者：刘瑜吉林华桥外国语学院长春130117

近两年儿童图书的出版受到广泛关注。首先是出版社对于图书形式的推敲,其次是父母对孩子所读图书的选择。在不断探索的过程中,绘本图书的繁荣为我们带来许多启示和指引。文章认真探求其出版价值,以期提高引进版儿童绘本的文字质量。

关键词：儿童绘本精缩影响

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JS—3型精缩照相机一次定位方案

电子工业专用设备 1978年第3期 19-22+17页

作者：赵昆

前言分步重复精缩照相机在近二十年左右的发展过程中,虽然主体结构没有太大差异,但是由于激光干涉测量法和莫尔条纹测量法的采用,而淘汰了靠丝杠精度来实现的定位方式。加之驱动系统和电控功能的完善,使其定位精度从几个微米,一跃进入... 详细信息

前言分步重复精缩照相机在近二十年左右的发展过程中,虽然主体结构没有太大差异,但是由于激光干涉测量法和莫尔条纹测量法的采用,而淘汰了靠丝杠精度来实现的定位方式。加之驱动系统和电控功能的完善,使其定位精度从几个微米,一跃进入零点几个微米。在激光干涉测置法和莫尔条纹测量法,进入相互媲美的阶段,很难全面地评价那一种优越,不过在使用环境适应性方面,条莫尔纹测量法的占先,确是显而易见的,至少国内情况是这样。

关键词：前冲光栅测量定位方案精缩莫尔条纹信号照相机脉冲当量实际位移 JS