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主题

  • 1 篇 掩模台
  • 1 篇 解耦
  • 1 篇 滑模控制
  • 1 篇 粒子群学习优化算...

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 张之万

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=粒子群学习优化算法"
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光刻机掩模微动台耦合误差分析及控制器设计
光刻机掩模微动台耦合误差分析及控制器设计
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作者： 张之万 哈尔滨工业大学
学位级别：硕士
光刻机的制造建立在一个国家强大的科技实力和工业基础之上。光刻机的研发需要多个学科的交叉合作。掩模台在光刻机工作中负责实现掩模板的精确运动。不断提升掩模台运动控制的精度关系到能否进一步提升光刻机的性能指标。掩模台采用了... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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