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作者

  • 1 篇 王贵梅
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  • 1 篇 张若凡
  • 1 篇 张福庆
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检索条件"主题词=管式等离子体增强化学气相沉积"
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管式PECVD工艺对“SE+PERC”晶体硅太阳电池镀膜均匀性的影响及改善研究
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太阳能 2024年 第6期 41-50页
作者： 张福庆 张若凡 王贵梅 胡明强 张鹏程 晶澳太阳能有限公司 邢台055550
针对在“SE+PERC”晶体硅太阳电池制备过程中,采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺沉积正面钝化介质膜后,硅片正面会出现角部发红色差,即镀膜均匀性异常的问题,通过实验,对硅片厚度、工器具状态、背面膜层结构、正面钝化介质... 详细信息
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