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主题

  • 1 篇 辉光放电技术
  • 1 篇 工作压强
  • 1 篇 等离子体质谱诊断

机构

  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 四川大学

作者

  • 1 篇 何小珊
  • 1 篇 何智兵
  • 1 篇 杨向东
  • 1 篇 贾晓琴
  • 1 篇 李蕊
  • 1 篇 牛忠彩

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=等离子体质谱诊断"
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工作压强对射频辉光放电H_2/C_4H_8等离子状态的影响
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物理学报 2013年 第5期62卷 474-480页
作者： 李蕊 何智兵 杨向东 何小珊 牛忠彩 贾晓琴 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心绵阳621900 四川大学 原子与分子物理研究所成都610065
利用辉光放电技术采用等离子体质谱诊断的方法研究了不同工作压强下H2/C4H8混合气体等离子体中主要正离子成分及其能量的变化规律,并分析了压强对H2/C4H8混合气体的离解机理以及主要正离子形成过程的影响.结果表明:随着工作压强的增加,... 详细信息
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