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作者

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检索条件"主题词=等离子体沉积"
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低介电率氟化碳膜
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等离子体应用技术快报 2000年 第2期 27-28页
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
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等离子体应用技术快报 1996年 第12期 7-7页
作者： 肖旭萍
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
PACVD的金属陶瓷的制备,特征和磨损性能
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国外核聚变与等离子体应用 1996年 第1期 69-74页
作者： Endle.,I 肖旭萍
用脉冲ｄｃ辉光放电通过等离子辅助化学气相沉积工业用金属陶瓷刀片镀上ＴｉＮｘ，ＴｉＣｘＮｙ和Ｎｘ。在７７３－９７３Ｋ的沉积温度范围内，研究了涂层参数对沉积率，涂层成分，涂层－基底分界面，涂层结构及微硬度的影响。采用最佳... 详细信息
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用于沉积和表面改性的质量和能量选择的离子束源
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等离子体应用技术快报 1997年 第2期 7-9页
作者： 凡丁
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
缩略词选登(五)
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光通信技术 1987年 第3期 75-77页
作者： 生树
ACS MP automatic control system of manufacturing processes制造工艺自动控制系统,生产过程自动控制系统AES Auger electron spectroscopy奥格电子能谱分析AMC auto-manual centre自动-手动中心AOD acousto-optic deflector声光偏转器
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国内外行业动态
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无机盐工业 2002年 第5期 42-42页
作者： 曲红 锦州石化公司研究院
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
用ECR反应性等离子沉积非晶和多晶硅薄膜
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等离子体应用技术快报 1994年 第7期 6-7页
作者： 一丁
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
高性能薄膜材料的多功能等离子体系统开发
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中国高校科技与产业化 2004年 第4期 79-79页
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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