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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 离子注入
  • 1 篇 高频
  • 1 篇 等离子体侵没
  • 1 篇 低压

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 田修波
  • 1 篇 汤宝寅
  • 1 篇 王小峰
  • 1 篇 曾照明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=等离子体侵没"
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排序:
高频低压等离子体离子注入技术研究
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新技术新工艺 2000年 第1期 40-42页
作者: 田修波 汤宝寅 王小峰 曾照明 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室 150001
利用低电压注入可以在相同的温度下较传统高压PIII获得更高的注入剂量率,同时在注入脉冲过程中形成较薄的离子阵鞘层,以利于提高注入剂量均匀性。低压与高频注入相配合可获得合适的处理温度和注入剂量率。研究结果表明,经高频低压PIII... 详细信息
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