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  • 1 篇 学位论文

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 low-k
  • 1 篇 窗函数滤波器
  • 1 篇 杨氏模量
  • 1 篇 lsaws

机构

  • 1 篇 天津大学

作者

  • 1 篇 付绍晨

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=窗函数滤波器"
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LSAWs技术检测ULSI互连布线low-k介质薄膜杨氏模量的算法研究
LSAWs技术检测ULSI互连布线low-k介质薄膜杨氏模量的算法研究
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作者： 付绍晨 天津大学
学位级别：硕士
LSAWs技术是利用声表面波在多层薄膜介质中传播时产生色散的原理来进行样品测量的。本文研究声表面波在分层媒质中传播模型及色散理论,着重对LSAWs实验系统优化,数据采集及处理等的研究进展进行阐述。在理论方面,建立了各向同性薄膜/硅... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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