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用于激光测距的1572nm窄带滤光膜

强激光与粒子束 2010年第8期22卷 1819-1822页

作者：岳威洪冬梅刘国喜韩永昶刘连泽杨蕊华北光电技术研究所固体激光技术国家级重点实验室北京100015

介绍了用于激光测距机的1 572 nm窄带滤光膜的用途、特性和制备方法。利用计算机优化软件对多腔结构进行计算后,得到了损耗小、制备方便、重复性好的膜系设计。讨论了薄膜的光谱、温漂及均匀性等主要技术问题后,给出了特性测试和环境实... 详细信息

介绍了用于激光测距机的1 572 nm窄带滤光膜的用途、特性和制备方法。利用计算机优化软件对多腔结构进行计算后,得到了损耗小、制备方便、重复性好的膜系设计。讨论了薄膜的光谱、温漂及均匀性等主要技术问题后,给出了特性测试和环境实验结果。目前相关的带宽12 nm滤光膜应用在新型激光测距机中分别达到了精度±5 m和重复频率(1±0.1)Hz下11 km的使用效果。

关键词：激光测距窄带滤光膜多腔结构均匀性

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近红外宽截止窄带滤光膜的研制

光子学报 2014年第1期43卷 74-78页

作者：刘冬梅王晓娟付秀华张静潘永刚长春理工大学光电工程学院

在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电... 详细信息

在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜,采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度,通过不断优化工艺参量,提高中心波长处的透过率,最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜.经光谱测试表明:所镀膜层在800~1 530nm、1 600~1 800nm波段平均透过率低于0.3%,1 565nm单点透过率高于92%,通带半带宽为18nm,满足光学系统的使用要求.

关键词：光学薄膜窄带滤光膜真空镀膜离子辅助沉积光学特性膜系设计膜厚监控

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近红外宽截止窄带滤光膜的研制

近红外宽截止窄带滤光膜的研制

作者：刘长亮长春理工大学

学位级别：硕士

针对空间光通信系统中光学系统对滤光膜的特殊要求,结合薄膜的基本理论,分别对近红外宽截止窄带滤光片的膜系、制备工艺以及相关检测技术进行了研究和分析,着重解决了宽截止带的膜系设计、窄带中心波长漂移等问题。在设计方面,通过实验... 详细信息

针对空间光通信系统中光学系统对滤光膜的特殊要求,结合薄膜的基本理论,分别对近红外宽截止窄带滤光片的膜系、制备工艺以及相关检测技术进行了研究和分析,着重解决了宽截止带的膜系设计、窄带中心波长漂移等问题。在设计方面,通过实验对薄膜材料的特性进行了研究,借助TFC膜系设计软件优化了高透过宽截止区的膜系;在制备方面,采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术沉积薄膜,采用光控与晶控同时监控的方法控制膜层厚度,解决了人为控制和设备本身控制引起的误差问题,不断优化工艺参数,所镀膜层在800nm-1530nm、1600nm-1800nm波段平均透过率低于0.3%,1565nm单点透过率高于92%,通带半带宽为18nm,满足光学系统的使用要求。

关键词：光学薄膜窄带滤光膜真空镀膜离子辅助沉积膜系设计膜厚监控

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时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术

陕西理工大学学报：自然科学版 2019年第2期35卷 12-16页

作者：张金豹王明慧耿浩史成浡孙亚威河南平原光电有限公司精密光学制造部河南焦作454001

基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950±2 nm,半宽度50 nm,峰值透过率大于90%,截止透射率小于0. 5... 详细信息

基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950±2 nm,半宽度50 nm,峰值透过率大于90%,截止透射率小于0. 5%的窄带滤光膜系。

关键词：窄带滤光膜时间监控拟合光谱

新型小尺寸窄带偏振分光器在光纤通信中的应用

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光谱学与光谱分析 2016年第12期36卷 4072-4075页

作者：李美萱董连和张雷冷雁冰长春理工大学吉林长春130000 长春理工大学光电信息学院吉林长春130000 吉林省交通规划设计院吉林长春130000

在光纤通信中,为了在不改变调制波长范围的基础上仍能实现更多数据通道的波分复用,设计了一种新型的小尺寸窄带偏振分光器,用于对现有的数据通信网络进行扩容以及提高光信号的信噪比。在该分光器上蒸镀了两种新设计的膜系,一层是窄带滤... 详细信息

在光纤通信中,为了在不改变调制波长范围的基础上仍能实现更多数据通道的波分复用,设计了一种新型的小尺寸窄带偏振分光器,用于对现有的数据通信网络进行扩容以及提高光信号的信噪比。在该分光器上蒸镀了两种新设计的膜系,一层是窄带滤光膜,另一层是偏振分光膜。采用TFCalc软件仿真,设计结果中窄带滤光膜的带宽约为0.4nm,偏振分光膜在1 530~1 560nm范围内对p光的通透性能优于99.8%。基于以上膜系设计在BK7光学玻璃上实际制备两组膜系,实验采用Agilent 8164-A型光波测量系统对经过膜后的光进行光谱分析。结果显示,窄带滤光膜的实际带宽优于0.4nm,增益平坦度小于-0.05dB,相比现有常见的0.8nm滤光膜具有更窄的带宽,可以实现在调制波长范围不变的条件下增大波分复用的数据通道总量。偏振滤光膜的实际p光透光率为99.6%,相比仿真值略低,但仍优于设计要求,相比传统分光器的光信号强度保留效果更好,具有更高的信噪比。综上所述,该分光器具有更好的应用价值和实用意义。

关键词：光纤通信膜系设计窄带滤光膜偏振分光

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905nm窄带滤光片的设计与制备

905nm窄带滤光片的设计与制备

作者：李珊长春理工大学

学位级别：硕士

针对军用测距系统中窄带滤光片的使用要求,综合分析常用的镀膜材料的光学性能与机械性能,优化膜系设计,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,成功制备出符合要求的窄带滤光片。在设计方面,使用双腔全介质窄带滤光片的基本膜系作为基础... 详细信息

针对军用测距系统中窄带滤光片的使用要求,综合分析常用的镀膜材料的光学性能与机械性能,优化膜系设计,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,成功制备出符合要求的窄带滤光片。在设计方面,使用双腔全介质窄带滤光片的基本膜系作为基础膜系进行优化改进;在材料方面,采用TiO与SiO的高低折射率材料匹配;在厚度监控方面,改进原有的光学控制方法来提高膜厚的控制精度;在制备方面,调整真空度、蒸发速率等工艺参数,采用离子源辅助沉积的电子枪蒸镀法。所镀膜层在垂直入射条件下,905nm波长透过率达到86%以上,半峰值宽度为23nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射和抵御恶劣的使用环境,满足了军用光学测距系统的使用要求。

关键词：薄膜窄带滤光膜膜厚监控相对灵敏度离子辅助沉积

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光学告警系统中紫外信号采集滤光膜的研制

光学学报 2013年第11期33卷 304-309页

作者：寇洋付秀华刘凤娥刘冬梅唐昊龙长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 中国兵器工业标准化研究所北京100089

根据紫外告警模拟系统的使用要求,基于法布里-帕罗(F-P)窄带滤光片结构,通过对膜系理论的分析、材料蒸发工艺的研究、离子源参数的调整和优化,利用不同膜系设计的组合,设计并制备出能够有效采集紫外信号的紫外滤光膜。该滤光膜在紫外峰... 详细信息

根据紫外告警模拟系统的使用要求,基于法布里-帕罗(F-P)窄带滤光片结构,通过对膜系理论的分析、材料蒸发工艺的研究、离子源参数的调整和优化,利用不同膜系设计的组合,设计并制备出能够有效采集紫外信号的紫外滤光膜。该滤光膜在紫外峰值透射率达到17.96%,通带半峰全宽约为20nm,能够更准确地采集到所需紫外波段的模拟信号,同时对紫外以及可见波段进行了有效地抑制,可以较好地控制背景噪声的产生,其截止度小于-30dB。该滤光膜在紫外告警模拟系统中对自然光进行滤光,对紫外信号进行了有效地采集,使系统的整体精度得到了提升。

关键词：薄膜信号采集窄带滤光膜紫外诱导滤光膜

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激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文)

红外与激光工程 2010年第5期39卷 853-856页

作者：李珊付秀华苏佳妮赵缨慰长春理工大学光电工程学院吉林长春130022

针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod... 详细信息

针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法。所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境。

关键词：薄膜窄带滤光膜膜厚监控相对灵敏度

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提高窄带滤光片稳定性的方法研究

光学工程 1985年第5期 32-36页

作者：张家戎

本文对稳定窄带介质干涉滤光片的光学性质作了一些工艺研究,用高温烘烤的方法可以提高滤光片的抗潮性能,对几种常用的光学胶的密封性能进行了比较,最后对低熔点玻璃烧结密封滤光片的方法作了介绍。

关键词：滤光片高温烘烤窄带滤光膜基底温度低熔点玻璃粉抗潮性能有机硅凝胶