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  • 2 篇 工学
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    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 2 篇 纳米硅
  • 2 篇 移相光栅
  • 1 篇 激光干涉晶化
  • 1 篇 定域晶化
  • 1 篇 激光干涉结晶
  • 1 篇 菲涅耳衍射

机构

  • 2 篇 南京大学
  • 1 篇 东京工业大学

作者

  • 2 篇 黄信凡
  • 2 篇 陈坤基
  • 2 篇 姚尧
  • 2 篇 徐骏
  • 2 篇 马忠元
  • 2 篇 李伟
  • 1 篇 小田俊理
  • 1 篇 刘广元
  • 1 篇 王旦清
  • 1 篇 周江
  • 1 篇 徐岭
  • 1 篇 宫本恭幸
  • 1 篇 严敏逸
  • 1 篇 方忠慧

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=移相光栅"
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二维移相光栅光强分布的计算及在制备有序纳米硅阵列中的应用
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物理学报 2010年 第5期59卷 3205-3209页
作者： 严敏逸 王旦清 马忠元 姚尧 刘广元 李伟 黄信凡 陈坤基 徐骏 徐岭 南京大学物理系 固体微结构物理国家重点实验室南京210093
从菲涅耳衍射积分的一般形式出发,结合二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)的具体参数,通过数值计算得到了作用于样品表面的光强分布.实验上,采用激光干涉晶化的方法,利用周期为400nm的2D-PSGM调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
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物理学报 2008年 第8期57卷 4960-4965页
作者： 姚尧 方忠慧 周江 李伟 马忠元 徐骏 黄信凡 陈坤基 宫本恭幸 小田俊理 南京大学物理系 固体微结构物理国家重点实验室南京210093 东京工业大学物理电子学系
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域... 详细信息
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