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  • 2 篇 期刊文献

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学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 2 篇 低密度靶
  • 2 篇 离带热辐射
  • 2 篇 极紫外光源
  • 2 篇 光谱效率

机构

  • 2 篇 长春理工大学

作者

  • 2 篇 谢卓
  • 2 篇 林景全
  • 2 篇 张齐进
  • 2 篇 窦银萍
  • 2 篇 司明奇
  • 2 篇 李博超
  • 2 篇 温智琳
  • 2 篇 宋晓伟

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=离带热辐射"
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低密度SnO_(2)靶激光等离子体极紫外光及离带热辐射
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物理学报 2023年 第6期72卷 209-216页
作者： 司明奇 温智琳 张齐进 窦银萍 李博超 宋晓伟 谢卓 林景全 长春理工大学物理学院 长春130022 长春理工大学重庆研究院 重庆401120
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO_(2)靶对极紫外光源以及其离带热辐... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
低密度SnO靶激光等离子体极紫外光及离带热辐射研究
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物理学报 2023年
作者： 司明奇 温智琳 张齐进 窦银萍 李博超 宋晓伟 谢卓 林景全 长春理工大学重庆研究院 长春理工大学物理学院
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首．高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分．本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO2靶对极紫外光源以及其离带热辐射... 详细信息
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