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采用反应性离子腐蚀使SiO2腐蚀速率为Si的25倍以上

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微电子学 1979年第3期 115-116页

作者：黄子伦

日本东京芝浦电气综合研究所研制成功了一种使用C2F6气体反应性高子腐蚀装置,可使SiO2的腐蚀速率为硅的25倍以上。这种离子腐蚀装置不同于平行电极型于腐蚀装置,它采用反应性气体。对日本电子研制的冷阴极磁控管离子枪进行了改良,用希... 详细信息

日本东京芝浦电气综合研究所研制成功了一种使用C2F6气体反应性高子腐蚀装置,可使SiO2的腐蚀速率为硅的25倍以上。这种离子腐蚀装置不同于平行电极型于腐蚀装置,它采用反应性气体。对日本电子研制的冷阴极磁控管离子枪进行了改良,用希土磁石SmC05代替电磁线圈。通过正交磁场电子漂移而产生放电,离子由电场直接引出,当外加电压为500伏、C2F6气体压力为7×10-14乇、离子电流为0.5毫安/厘米2时,SiO2与Si的腐蚀速率比为10倍以上。如果气体中添加少量的H2,则腐蚀速率比可达25倍以上。目前,为了阐明该装置的离子腐蚀机理,所以对衬底的损伤和批量生产尚未特别考虑。

关键词：离子腐蚀装置腐蚀速率 SiO2 反应性

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硅中薄窗口的离子腐蚀

微纳电子技术 1975年第9期 49-51页

作者： E、G、Spencer 张慕义

采用离子腐蚀在硅片上制作5～10微米厚、约1厘米直径的薄窗口。这个方法允许所用离子源的变化范围很宽,并在直径为1厘米的面积上提供每小时20微米的腐蚀速度。窗口的表面是平坦而光滑的镜面。窗口的边缘是陡峭的并为离子束的方向所确定... 详细信息

采用离子腐蚀在硅片上制作5～10微米厚、约1厘米直径的薄窗口。这个方法允许所用离子源的变化范围很宽,并在直径为1厘米的面积上提供每小时20微米的腐蚀速度。窗口的表面是平坦而光滑的镜面。窗口的边缘是陡峭的并为离子束的方向所确定。在本实验装置中,被腐蚀的材料起着阴极作用,所以,这个方法只适用于电导材料。

关键词：硅片腐蚀速率离子腐蚀离子束腐蚀

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溅射腐蚀(离子腐蚀)

微纳电子技术 1972年第2期 78-79页

作者：何滨

溅射制取薄膜的过程是把薄膜基片置于靶侧,由于离子的轰击,薄膜就飞散消失了。用此原理,若把绘有抗蚀剂图形的薄膜置于靶侧,因此也完全能够形成薄膜图象。在溅射腐蚀中,一般采用射频(RF)法。而直流(DC)法,由于光致抗蚀剂带电导致不能形... 详细信息

溅射制取薄膜的过程是把薄膜基片置于靶侧,由于离子的轰击,薄膜就飞散消失了。用此原理,若把绘有抗蚀剂图形的薄膜置于靶侧,因此也完全能够形成薄膜图象。在溅射腐蚀中,一般采用射频(RF)法。而直流(DC)法,由于光致抗蚀剂带电导致不能形成精细的线条。射频溅射腐蚀法的特点归纳如下:

关键词：光致抗蚀剂光刻胶抗腐蚀离子腐蚀溅射腐蚀

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离子腐蚀改善粘接接头的强度

新技术新工艺 1983年第6期 49-49页

作者：易万龙

用离子腐蚀工艺可使塑料件粘接接头强度显著提高,因离子处理产生密集的“茅草”状结构(即微小尖顶),这种结构能在塑料表面上得到较大的粘接剂浸湿面积和粘接面积。“茅草”状尖顶的长度范围为几十到几百微米,取决于离子束的能量、离子... 详细信息

用离子腐蚀工艺可使塑料件粘接接头强度显著提高,因离子处理产生密集的“茅草”状结构(即微小尖顶),这种结构能在塑料表面上得到较大的粘接剂浸湿面积和粘接面积。“茅草”状尖顶的长度范围为几十到几百微米,取决于离子束的能量、离子电流的密度及处理时间。到目前为止,这种工艺还只限于处理用于制造医学器具上的小线

关键词：粘接接头粘接剂塑料件离子腐蚀

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油田采出水中主要腐蚀离子对渗锌碳钢的腐蚀

石油化工高等学校学报 2011年第3期24卷 31-34页

作者：高楠王婵张凤华李飞赵杉林李萍辽宁石油化工大学石油化工学院辽宁抚顺113001 辽宁石油化工大学化学与材料科学学院辽宁抚顺113001 辽宁石油化工大学环境与生物工程学院辽宁抚顺113001

采用静态腐蚀挂片失重方法,研究了胜利油田采出水中主要腐蚀离子成份(Cl-,Ca2+,HCO-3)对20#碳钢和渗锌碳钢的腐蚀行为,并对腐蚀原因做出了分析。研究表明,20#碳钢及渗锌碳钢的腐蚀速率随腐蚀介质中Cl-质量浓度的增加而呈现上升趋势;Ca2... 详细信息

采用静态腐蚀挂片失重方法,研究了胜利油田采出水中主要腐蚀离子成份(Cl-,Ca2+,HCO-3)对20#碳钢和渗锌碳钢的腐蚀行为,并对腐蚀原因做出了分析。研究表明,20#碳钢及渗锌碳钢的腐蚀速率随腐蚀介质中Cl-质量浓度的增加而呈现上升趋势;Ca2+离子的加入在一定程度促进了20#碳钢和渗锌钢的腐蚀;HCO-3对20#碳钢腐蚀具有先抑制后促进作用。在模拟的采出水腐蚀介质中,渗锌碳钢的耐蚀性能要明显好于20#碳钢,平均腐蚀速率小于石油行业腐蚀速率(0.076 mm/a)控制标准规定。

关键词：油田采出水渗锌碳钢离子腐蚀腐蚀速率

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砂浆锚杆锚固体耐腐蚀性试验研究

砂浆锚杆锚固体耐腐蚀性试验研究

作者：王明明中南大学

学位级别：硕士

针对锚固结构的耐久性问题,本文聚焦砂浆锚杆锚固体的抗压性能、粘结性能、腐蚀特性和显微结构,利用室内加速腐蚀的试验方法,获得了锚固体的宏观力学特性和微观结构形态,揭示了锚固体的耐腐蚀性规律。取得主要成果如下:(1)通过长期浸泡... 详细信息

针对锚固结构的耐久性问题,本文聚焦砂浆锚杆锚固体的抗压性能、粘结性能、腐蚀特性和显微结构,利用室内加速腐蚀的试验方法,获得了锚固体的宏观力学特性和微观结构形态,揭示了锚固体的耐腐蚀性规律。取得主要成果如下:(1)通过长期浸泡试验,观察到高浓度溶液腐蚀下的圆柱体试样,底面和侧面会出现网状裂缝。对不同浓度、不同离子和不同水灰比影响下的水泥砂浆进行单轴抗压强度试验,发现硫酸钠溶液浓度的提高和水灰比的增大加快了水泥砂浆抗压强度的下降速度;氯离子的加入,提高了其抗腐蚀能力。(2)通过粘结强度试验,得到了锚杆与砂浆界面的粘结强度变化规律,发现粘结强度抗蚀系数大于抗压强度抗蚀系数;根据强度拟合公式,并结合腐蚀溶液浓度和温度对加速系数的影响关系,推导了低浓度溶液腐蚀下砂浆锚杆锚固体的强度变化公式。(3)通过高温溶液和浸烘循环腐蚀单一裂缝砂浆锚杆锚固体,发现锚固体表面裂缝贯通引起砂浆剥落,侵入离子和水化产物填充在裂隙中,导致锚固体膨胀,加速砂浆脱落。通过腐蚀溶液离子浓度测试,发现腐蚀锚固体后复合溶液的p H小于硫酸盐溶液的p H。(4)通过薄片观察和扫描电镜(SEM)观察得到显微结构图,揭示了裂缝和孔隙的发育规律,阐明了砂浆锚杆锚固体的耐腐蚀性劣化机理。图63幅,表25个,参考文献72篇

关键词：锚杆锚固体离子腐蚀强度变化耐腐蚀性

滨海相软土水泥土强度劣化机理及耐盐固化技术研究

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滨海相软土水泥土强度劣化机理及耐盐固化技术研究

作者：张凯翔中国矿业大学

学位级别：硕士

滨海相软土中含有大量的腐蚀盐类,如硫酸盐、镁盐和氯盐,其软土固化工程不可避免要遇到离子腐蚀问题,使水泥土产生劣化效应,进而导致水泥土结构的破坏和强度的降低。本文以滨海相软土水泥土为研究对象,采用无侧限抗压强度试验、质量变... 详细信息

滨海相软土中含有大量的腐蚀盐类,如硫酸盐、镁盐和氯盐,其软土固化工程不可避免要遇到离子腐蚀问题,使水泥土产生劣化效应,进而导致水泥土结构的破坏和强度的降低。本文以滨海相软土水泥土为研究对象,采用无侧限抗压强度试验、质量变化率试验、ESEM环境扫描电镜试验、EDS能谱分析试验和CCD显微镜试验,在不同腐蚀离子、不同浓度以及不同养护龄期,对滨海相软土水泥土的物理力学性质、细微观结构成分进行研究,分析滨海相软土水泥土在离子腐蚀环境下的劣化机理,并通过正交试验对耐盐材料的最优掺量进行研究,得到的结果为滨海相软土固化工程应用提供了参考,最后,选择高炉矿渣和粉煤灰作为耐盐固化材料进行验证。(1)总结分析海水中离子含量及作用机理,为腐蚀环境配制以及试验结果分析提供参考。Cl反应生成的F’s盐阻碍硬凝反应、SO反应生成的二水石膏和AFt具有膨胀性,Mg反应生成的Mg(OH)、M-S-H和M-A-H结构松散、强度低。确定海水中主要腐蚀离子为Cl、Mg和SO,浓度分别为6%、0.1%、0.2%。在此基础上设计相关试验,包括离子腐蚀正交试验和单离子溶液腐蚀相关试验。(2)开展包括离子腐蚀正交试验和单离子溶液腐蚀相关试验。28d养护龄期内,SO对水泥土抗压强度的削弱影响最大,Mg次之,Cl起到增强作用;随着浓度增加,SO和Cl对水泥土质量变化率起到增强作用,Mg对水泥土质量变化率先增强后削弱,拐点为0.2%。6%Cl溶液养护的水泥土,在60d前对水泥土抗压强度起到增强作用,60d后对水泥土抗压强度起到削弱作用;0.4%Mg溶液和0.8%SO溶液养护的水泥土抗压强度随龄期增长而降低,Mg的长期削弱作用大于SO。(3)随着Cl溶液浓度和养护龄期升高,生成的F’s盐也随之升高,生成量较少时,可以加强水泥土结构,细观上未发现裂隙,生成量很大的时候,破坏了水泥土结构完整性。随着Mg溶液浓度和龄期的升高,消耗的C-A-H、C-S-H和生成的M-A-H、M-S-H、Mg(OH)数量也随之升高,导致土颗粒间胶结力丧失,水泥土结构发生破坏,水泥土表面裂隙演化成龟裂状结构。随着SO溶液浓度和龄期的升高,消耗的C-A-H和生成的二水石膏、AFt数量更多,当生成物膨胀力大于黏土颗粒间胶结力时,水泥土结构发生破坏,水泥土表面裂隙演化成同心圆结构。(4)根据水泥土耐盐固化机理分析,确定Si O和AlO为耐盐固化成分,Si O不同掺量固化土的无侧限抗压强度大小排列是:2%掺量强度>1%掺量强度>0.5%掺量强度;AlO不同掺量固化土的无侧限抗压强度大小排列是:1%掺量强度>2%掺量强度>0.5%掺量强度,根据成分含量确定了高炉矿渣和粉煤灰的最优掺量,并进行耐盐固化试验应用研究,研究结果证明耐盐固化材料是很有效的。该论文有图51幅,表30个,参考文献80篇。

关键词：滨海相软土离子腐蚀劣化机理耐盐固化