检索结果-南通市图书馆

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

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物理学报 2002年第6期51卷 1332-1337页

作者：邱华檀王友年马腾才大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室大连116024

考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应 ,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型 ,并利用Monte Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布 .数值结果表明 :随着放电气压增加 ,入射到电极... 详细信息

考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应 ,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型 ,并利用Monte Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布 .数值结果表明 :随着放电气压增加 ,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布 ,而且低能离子的数目也逐渐地增加 .入射到电极上的离子呈小角分布 ,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显 .

关键词：碰撞效应射频偏压电极离子能量分布角度分布射频放电等离子体鞘层动力学

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射频等离子体离子能量分布特性研究

核聚变与等离子体物理 2021年第4期41卷 598-602页

作者：邢海龙金伟梁传辉代波任勇毛新春王东平王小英陈长安西南科技大学绵阳621010 中国工程物理研究院材料研究所绵阳621908

利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低... 详细信息

利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子ND_(4)^(+),峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低。

关键词：感应耦合等离子体离子能量分布进气速率

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螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断

真空科学与技术 2002年第2期22卷 112-117页

作者：江南王志强赵宁李春茂中国科学院物理所北京100080 东南大学电子工程系南京210096 江苏省工程咨询中心南京210003

螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能... 详细信息

螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多。

关键词：密度诊断螺旋波等离子体离子能量分布

飞秒强激光与Ar原子团簇相互作用产生的Ar离子能量分布

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量子电子学报 2000年第5期17卷 452-453页

作者：黎忠朱频频雷安乐倪国权徐至展中国科学院上海光学精密机械研究所强光光学开放研究实验室!上海 201800

超短强激光与大尺寸原子团簇的相互作用研究是90年代开拓的一个崭新的强激光与物质相互作用的研究领域.由于大尺寸原子团簇兼有气体的低平均密度孤立体系和固体的高局域密度的独特双重特性,因而相对于固体靶和气体靶,大尺寸原子团簇靶... 详细信息

超短强激光与大尺寸原子团簇的相互作用研究是90年代开拓的一个崭新的强激光与物质相互作用的研究领域.由于大尺寸原子团簇兼有气体的低平均密度孤立体系和固体的高局域密度的独特双重特性,因而相对于固体靶和气体靶,大尺寸原子团簇靶对入射激光具有更高的能量吸收率,能够产生温度更高的等离子体,释放出更强的X射线和能量更高的电子、离子.

关键词：飞秒强激光 Ar 激光强度离子能量分布原子团簇

高频加热磁镜装置等离子体离子能量分布的测量

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核聚变与等离子体物理 1983年第3期 149-154页

作者：曹扬达李永驹何宪西南物理研究所

利用圆柱形低能离子静电分析器,对穿过高频加热磁镜装置逸出锥的逃逸离子和电荷交换生成的中性粒子的能量进行了测量,得到了等离子体离子的能量分布、离子回旋共振条件、以及发生离子回族共振时等离子体离子平均温度与加热净功率之间的... 详细信息

利用圆柱形低能离子静电分析器,对穿过高频加热磁镜装置逸出锥的逃逸离子和电荷交换生成的中性粒子的能量进行了测量,得到了等离子体离子的能量分布、离子回旋共振条件、以及发生离子回族共振时等离子体离子平均温度与加热净功率之间的线性关系。当加热净功率为100kW时,等离子体离子平均温度约为45eV。每1kW加热净功率大约提高离子温度0.4eV。

关键词：等离子体平均温度离子温度净功率离子能量分布中性粒子静电分析器分析仪器离子回旋共振高频加热高频电场加热

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离子注入机注入离子能量分布的计算机模拟

微细加工技术 1994年第3期 17-21页

作者：张涛李国卿宫泽祥张庆瑜史维东大连理工大学三束实验室

本文参考ＴＲＩＭ程序，建立用于模拟计算多种荷电态离子注入过程的程序。在此基础上，对注入离子荷电态进行拟合。本文的结论对注入离子束能量分析有应用价值。

关键词：计算机模拟离子注入离子注入机离子能量分布

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多频激励信号对离子能量分布的影响

贵州师范学院学报 2012年第9期28卷 13-17页

作者：周筑文陈德良王元生李振宇贵州师范学院物理与电子科学学院贵州贵阳550018

在等离子体多频电容放电过程中不同频率的电压、谐波、频率、是如何影响离子的能量分布,分析和把握这种现象和成因机制,对于更好地控制集成电路蚀刻等微处理技术,以及对等离子体物理基础理论研究均有重要作用。着重讨论高低频(双频)激... 详细信息

在等离子体多频电容放电过程中不同频率的电压、谐波、频率、是如何影响离子的能量分布,分析和把握这种现象和成因机制,对于更好地控制集成电路蚀刻等微处理技术,以及对等离子体物理基础理论研究均有重要作用。着重讨论高低频(双频)激励电容耦合放电过程中的粒子能量分布函数(IEDs),从理论分析推导出多频激励信号的离子能量分布函数计算模型。通过该计算模型可以分析和预测不同高低频激励的离子能量分布,计算结果与目前国内外公开发表学术期刊研究的相关结论基本吻合。

关键词：多频电容放电离子能量分布调制信号高低频率计算模型

霍尔推力器低频振荡时间尺度内离子能量分布研究

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霍尔推力器低频振荡时间尺度内离子能量分布研究

感性耦合等离子体中射频偏压相位对离子能量分布的影响

第十八届全国等离子体科学技术会议

作者：李文博杨鑫勇魏立秋于达仁哈尔滨工业大学

霍尔推力器的羽流区离子能量分布和放电通道内的电离过程是紧密关联的,霍尔推力器的低频振荡周期为几十个微秒,现有的技术手段直接在此时间段内获得离子能量分布比较困难。本文利用推力器放电电流低频振荡的周期性变化特点,获得了羽流... 详细信息

霍尔推力器的羽流区离子能量分布和放电通道内的电离过程是紧密关联的,霍尔推力器的低频振荡周期为几十个微秒,现有的技术手段直接在此时间段内获得离子能量分布比较困难。本文利用推力器放电电流低频振荡的周期性变化特点,获得了羽流区离子能量分布的动态变化特性,并统计了峰值离子能量、离子能量分布电压宽度和高能离子占比在低频振荡时间尺度内的变化特性。研究发现离子能量分布在低频振荡时间尺度内呈周期性变化,峰值离子能量变化的趋势和放电电流相反;离子能量分布电压宽度和高能离子比例的变化趋势和放电电流一致。利用一维混合流体模型模拟了低频振荡时间尺度内离子密度和放电电势分布的变化特性,模拟结果验证了离子能量分布在低频振荡时间尺度内的周期性变化,由放电通道内的电离过程引起的离子电离密度分布周期性变化决定。

关键词：霍尔推力器低频振荡离子能量分布数值模拟

来源： cnki会议评论

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感性耦合等离子体中射频偏压相位对离子能量分布的影响