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离子源辅助HiPIMS反应溅射快速沉积Al2O3薄膜
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中国表面工程 2025年
作者: 杨东杰 安小凯 刘瑶瑶 吕伟 罗万里 于钦芳 吴敏 崔岁寒 刘亮亮 吴忠振 北京大学深圳研究生院新材料学院 洛阳船舶材料研究所海洋腐蚀与防护国家重点实验室 深圳劲嘉集团股份有限公司 武汉理工大学汽车工程学院
氧化铝薄膜在电子器件和显示面板领域具有广泛的应用。高功率脉冲磁控溅射技术(High-power impulse magnetron sputtering, HiPIMS)具有高的离化率,可明显提高制备氧化铝薄膜的性能。但其对反应气体敏感,反应溅射时易中毒和打火,限... 详细信息
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离子源
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光机电信息 2003年 第9期20卷 44-44页
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离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析
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高电压技术 2015年 第9期41卷 2950-2957页
作者: 金逸舟 杨涓 罗立涛 冯冰冰 汤明杰 西北工业大学航天学院 西安710072
电子回旋共振离子推力器(ECRIT)离子源的内部磁场会干扰离子源内等离子体诊断,选择合理的诊断方法需要分析离子源特性,了解磁场对诊断结果的影响。为此,采用朗缪尔(Langmuir)探针诊断了离子源的等离子体信息,根据朗缪尔探针理论得... 详细信息
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微型电子回旋共振离子推力器离子源结构优化实验研究
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物理学报 2015年 第21期64卷 319-325页
作者: 汤明杰 杨涓 金逸舟 罗立涛 冯冰冰 西北工业大学航天学院 西安710072
微型电子回旋共振(ECR)离子推力器可满足微小航天器空间探测的推进需求.为此,本文开展直径20mm的微型ECR离子源结构优化实验研究.根据放电室内静磁场和ECR谐振区的分布特点,研究不同微波耦合输入位置对离子源性能的影响,结果表明环形天... 详细信息
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离子源研究中的光谱诊断
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核技术 2006年 第2期29卷 108-111页
作者: 唐平瀛 戴晶怡 谈效华 向伟 石磊 中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳621900
离子源研究中,光谱分析作为一种重要的实验手段具有不可替代的优越性和便利性。作为一种非接触式的等离子体诊断手段,光谱分析可以在不影响离子源放电工作状态的前提下,对离子源放电等离子体的有关参数迅速作出测量和判断。本文列举... 详细信息
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离子源引出系统的优化设计
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西安交通大学学报 1998年 第3期32卷 9-12页
作者: 赵玉清 余志军 西安交通大学
应用鲍威尔法和模拟退火法的组合法,即PSAM,优化了离子源引出系统.该方法由于精选了计算方法和优化算法,因此克服了现有各方法优化自洽解需大量计算机资的问题,能在微机上实现,是一种比较实用的全局优化算法,可推广应用于... 详细信息
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采用脉冲电晕放电离子源离子迁移谱仪
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光学精密工程 2013年 第12期21卷 3095-3101页
作者: 栗大超 李国卿 檀景辉 于海霞 徐可欣 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072
尝试采用脉冲电晕放电作为离子迁移谱仪中的放射性离子源以简化离子迁移谱仪结构。研究了脉冲电晕放电的特性,测量了单次脉冲电晕放电产生的正离子数,以及正离子数与高压脉冲的关系,正离子数与电极间距的关系以及在不同针尖曲率半径下,... 详细信息
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第四代ECR(电子回旋共振)离子源高场Nb_(3)Sn磁体1/2长度样机的研制
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Acta Mechanica Sinica 2024年 第4期40卷 61-77页
作者: 孙良亭 吴巍 吴北民 陈玉泉 朱丽 欧贤金 郑石钧 梅恩铭 关明智 辛灿杰 王旭东 卢旺 任文辉 赵红卫 Institute of Modern Physics Chinese Academy of SciencesLanzhou730000China School of Nuclear Science and Technology University of Chinese Academy of SciencesBeijing100049China Advanced Energy Science and Technology Guangdong Laboratory Huizhou516000China
中国科学院近代物理研究所正在研发第四代ECR(电子回旋共振)离子源FECR(first 4th generation ECR ion source).以20 kW/45 GHz微波加热运行为目标,需要研制Nb_(3)Sn超导磁体以实现对所加热等离子体的有效磁场约束.作为首台采用Nb_(3)S... 详细信息
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860A型高强度溅射离子源的改进
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核技术 1993年 第3期16卷 142-155页
作者: 缴桂跃 北京师范大学分析测试中心 北京100875
球面电离器的采用使溅射区域缩小到直径~0.75mm;用3根远离溅射区的瓷柱取代原来绝缘阴极的瓷环,可使溅射电压在10kV以内稳定工作。这些改进措施使860A的部分负离子品种的流强提高了近300%,传输效率得以提高,从而为2×1.7MV串列加速器... 详细信息
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利用离子风实现后吸式进样与电离集成的离子源
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光学精密工程 2015年 第12期23卷 3405-3413页
作者: 李华 李玉凯 郭超群 陈耀彬 洪夏蕾 李智江 肖文香 陈真诚 桂林电子科技大学生命与环境科学学院 广西桂林541004 广西信息科学实验中心 广西桂林541004
针对现用离子源工作时需外接庞大复杂的供气装置,不利于便携的不足,提出了一种基于离子风的敞开式离子源和微型气泵集成系统。设计了一种新型阵列式针-柱放电电极结构,其可以在大气压下实现敞开式离子源和微型气泵双重功能。选用0^-20 0... 详细信息
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