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离子束溅射法在PET基防水透湿织物制造中的应用

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纺织学报 2000年第5期21卷 53-55页

作者：齐宏进王东徐羽军隋坤艳马兆立付延鲍青岛大学

利用离子束溅射法制备了防水透湿织物 ,发现溅射后织物的憎水性明显提高且随溅射能量的增大而增大 ,而束流密度对憎水性的影响呈复杂变化 ,织物原有的透湿性几乎没有改变。

关键词： PET 防水织物透湿织物憎水性离子束溅射法

离子束溅射法制备YBa_(2)Cu_(3)O_(7-x)超导薄膜

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材料科学进展 1989年第3期3卷 233-236页

作者：胡倾宇闻立时赵航炜乔桂文钱声伟于宝海杨巧勤庄育智中国科学院金属研究所

采用 YBa_2Cu_3O_(7-x)靶材,用离子束溅射法在多种衬底上得到了接近化学计量的YBa_2Cu_3O_(7-x)单相超导薄膜。

关键词：超导薄膜离子束溅射法

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用离子束溅射法培植高温超导精细薄膜

光机电信息 1994年第8期 33-33页

作者：李蓉芳

本文描述了用离子束溅射法培植高温超导精细薄膜的原理和技术。探讨了工艺状态的实施和外部因子对薄膜生长过程影响的一些问题,给出许多具体实例。图1为溅射装

关键词：高温超导离子束溅射法

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氮化碳薄膜的制备及研究现状

高压物理学报 2003年第4期17卷 311-318页

作者：宋银侯明东王志光赵志明段敬来中国科学院近代物理研究所甘肃兰州730000

氮化碳具有良好的物理、化学性质和广泛的应用前景。目前主要采用化学气相沉积法、离子束溅射法、激光等离子体沉积和激光烧蚀、离子镀、离子注入法等制备方法。文中对氮化碳的结构、性质、制备、性能表征以及研究现状进行了比较详细的... 详细信息

氮化碳具有良好的物理、化学性质和广泛的应用前景。目前主要采用化学气相沉积法、离子束溅射法、激光等离子体沉积和激光烧蚀、离子镀、离子注入法等制备方法。文中对氮化碳的结构、性质、制备、性能表征以及研究现状进行了比较详细的介绍。

关键词：氮化碳薄膜薄膜制备化学气相沉积法离子束溅射法激光等离子体沉积离子注入法结构表征性能表征

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软X射线激光用分束镜研制

科学通报 2003年第13期48卷 1398-1401页

作者：王占山吴永刚唐伟星秦树基陈玲燕徐向东洪义麟付绍军朱杰崔明启同济大学精密光学工程技术研究所同济大学物理系上海200092 中国科学技术大学同步辐射国家重点实验室合肥230029 中国科学院高能物理研究所北京100039

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率... 详细信息

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。

关键词：软X射线激光分束镜多层膜干涉临界面等离子体离子束溅射法

面向LCT亚毫米波望远镜的超导NbN薄膜的室温生长研究

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面向LCT亚毫米波望远镜的超导NbN薄膜的室温生长研究

作者：张思雨上海师范大学

学位级别：硕士

太赫兹频段占有宇宙微波背景（CMB）辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为当代天文探测最前沿的研究领域之一,引起了世界各国科研机构对开发太赫兹探测器的兴趣。本中智亚毫米天... 详细信息

太赫兹频段占有宇宙微波背景（CMB）辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为当代天文探测最前沿的研究领域之一,引起了世界各国科研机构对开发太赫兹探测器的兴趣。本中智亚毫米天文国际联合实验室主导的LCT亚毫米波望远镜是世界上最先进的望远镜之一,采用的是超导SIS相干探测器。其中,超导材料的生长质量会直接影响到超导SIS隧道结的势垒层以及混频器的性能。采用超导性能良好、转变宽度较窄的NbN为超导材料,并开发出室温生长技术,将有助于制备高灵敏度、高工作频率的超导SIS隧道结混频器,并为进一步制备超导SIS相干探测器以实现LCT望远镜的升级打下坚实基础。本论文分别采用离子束溅射技术与磁控溅射技术,探索NbN超导薄膜的生长条件;并利用X射线衍射（XRD）、X射线能谱（EDS）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）、综合物性测量系统（PPMS）对薄膜的晶体结构、元素比例、表面形貌、断面形貌、原子价态以及超导性能进行表征。主要研究结果如下:1、利用离子束溅射法溅射粒子动能较大（约600 e V）、制备薄膜表面致密的特点,分别研究了辅助离子源、氩氮气体流量比以及溅射电压对NbN超导薄膜晶体结构、表面形貌、元素比例、原子价态、超导性能的影响,探究其中的物理机制,寻找溅射条件与薄膜结构、物性之间的关系。结果表明,使用离子束溅射法制备的NbN薄膜具有δ-NbN相结构,并且表面光滑平整、致密。由于所使用的离子束溅射系统在通入气体种类、溅射压强、气体流量等方面受到极大限制,因此未获得具有超导性能的NbN薄膜,但所得的生长条件参数以及影响薄膜质量的主要因素为后续采用磁控溅射法生长NbN薄膜提供了借鉴和参考。2、在离子束溅射法制备NbN薄膜的基础上,进一步利用磁控溅射法生长NbN薄膜,所使用的磁控溅射系统具有多腔室、基底低温、高速离子态等优点。通过改变氩氮气体流量比、氩氮气体各自的流量、溅射功率,探究了薄膜晶体结构、表面形貌、断面形貌、超导性能的变化规律,根据生长条件与结构性能之间的对应关系进一步优化薄膜生长。结果表明,使用磁控溅射法生长的NbN超导薄膜具有δ-NbN相结构,结晶质量良好,表面致密均匀,薄膜中N与Nb的比例接近化学计量比1:1,超导转变温度达到13.73 K。本论文研究工作所获得的NbN薄膜其超导性能能够满足LCT望远镜中超导SIS相干探测器的研发需求,研究结果将为进一步生长势垒层、制备超导SIS隧道结及混频器打下扎实基础。

关键词： NbN薄膜离子束溅射法磁控溅射法超导转变温度

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简讯

金属功能材料 2012年第4期 50-62页

永磁材料的研究和发展2011年日本磁性材料产值据日本电子情报技术产业协会电子产品部佐藤秀树估算,2011年磁性材料产值为1,298亿日元,为上一年的112%,其中软磁铁氧体为116亿日元,与上一年持平。从用途看,电路用小型和通用变压器铁氧体... 详细信息

永磁材料的研究和发展2011年日本磁性材料产值据日本电子情报技术产业协会电子产品部佐藤秀树估算,2011年磁性材料产值为1,298亿日元,为上一年的112%,其中软磁铁氧体为116亿日元,与上一年持平。从用途看,电路用小型和通用变压器铁氧体用量比上一年微增了2%,通讯设备用磁性材料产值为上一年的108%。关于永磁材料,由于电动汽车和混合动力车需求量增加。

关键词： Ni 磁性薄膜磁性膜磁性材料烧结磁体牙齿植入体磁热效应磁场电效应粘结磁体金属功能材料固体氧化物燃料电池离子束溅射法工业材料 FePt

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软X射线激光用分束镜研究

北京同步辐射装置年报 2002年第1期 190-193页

作者：王占山唐伟星吴永刚秦树基陈玲燕徐向东洪毅麟付绍军朱杰崔启明同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092 中国科技大学同步辐射国家重点实验室合肥230029 中科院高能物理研究所同步辐射室北京100039

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计... 详细信息

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13．9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％。

关键词：软X射线干涉测量分束镜激光多层膜等离子体入射角反射率透过率离子束溅射法

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非晶态M1-Ni合金薄膜吸放氢性能的研究

非晶态M1-Ni合金薄膜吸放氢性能的研究