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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
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主题

  • 1 篇 游离磨粒
  • 1 篇 磨抛协同加工
  • 1 篇 分子动力学
  • 1 篇 固结磨粒
  • 1 篇 单晶硅

机构

  • 1 篇 长安大学
  • 1 篇 重庆大学
  • 1 篇 中天引控科技股份...

作者

  • 1 篇 郭磊
  • 1 篇 刘天罡
  • 1 篇 吕景祥
  • 1 篇 靳淇超
  • 1 篇 郭万金
  • 1 篇 郭鹏举

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=磨抛协同加工"
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排序:
单晶硅磨抛协同加工的分子动力学
收藏 引用
中国表面工程 2024年 第2期37卷 199-210页
作者: 郭磊 郭鹏举 刘天罡 郭万金 吕景祥 靳淇超 长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室 西安710064 重庆大学机械传动国家重点实验室 重庆400044 中天引控科技股份有限公司 西安710010
磨削与抛光是实现单晶硅材料超精密表面加工的重要工艺方法,磨抛协同加工过程中由磨粒运动状态主导的二体与三体磨损机制对材料去除效率以及表面加工质量具有重要影响。采用分子动力学方法,建立固结与游离运动状态双磨粒协同作用下的单... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论