咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

标题
作者

文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 可控梯度磁场
  • 1 篇 金属辅助化学刻蚀
  • 1 篇 磁控矢量刻蚀
  • 1 篇 晶圆级
  • 1 篇 高深宽比结构

机构

  • 1 篇 合肥工业大学

作者

  • 1 篇 孙颜

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=磁控矢量刻蚀"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
基于磁控金属辅助化学刻蚀的三维矢量刻蚀工艺研究
基于磁控金属辅助化学刻蚀的三维矢量刻蚀工艺研究
收藏
分享
引用
作者： 孙颜 合肥工业大学
学位级别：硕士
刻蚀技术是半导体芯片制程的核心环节之一,刻蚀工艺水平的高低,在一定程度上决定半导体器件的性能优劣。刻蚀技术主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类,在过去的几十年里,这些常用的刻蚀技术在半导体芯片的发展历程中扮演了重要的角色。但... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件