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  • 2 篇 期刊文献

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  • 2 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 信息与通信工程

主题

  • 2 篇 磁控溅射阴极
  • 1 篇 软磁材料
  • 1 篇 橡胶粘合
  • 1 篇 ansys磁场模拟
  • 1 篇 贵金属靶材
  • 1 篇 磁化曲线
  • 1 篇 靶材绑定
  • 1 篇 损耗曲线

机构

  • 1 篇 中国科学院电工研...
  • 1 篇 科特莱思科商贸有...
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院物理研...
  • 1 篇 中国科学院应用超...

作者

  • 1 篇 汪天龙
  • 1 篇 邱清泉
  • 1 篇 樊涛
  • 1 篇 丁大伟
  • 1 篇 myongchol.ri
  • 1 篇 靖立伟

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=磁控溅射阴极"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
铁磁材料低温磁性能测量研究
收藏 引用
稀有金属材料与工程 2019年 第3期48卷 898-904页
作者: 汪天龙 邱清泉 靖立伟 MyongChol.Ri 丁大伟 中国科学院应用超导重点实验室 北京100190 中国科学院电工研究所 北京100190 中国科学院大学 北京100049 中国科学院物理研究所 北京100190
采用模拟冲击法研究了铁磁材料在300和77 K环境下的磁性能。以电工领域常用的铁磁材料DT4、1J22、2Cr13和非晶FeSiB为研究对象。结果表明,在液氮环境下,DT4、1J22、2Cr13和非晶FeSiB的饱和磁感应强度均略有增加,其中非晶FeSiB的饱和磁... 详细信息
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一种新型磁控溅射贵金属靶材设计
收藏 引用
世界有色金属 2020年 第12期45卷 288-291页
作者: 樊涛 科特莱思科(上海)商贸有限公司 上海201203
通过Ansys有限元模拟传统圆形平面磁控溅射阴极的磁场排布,分析了直径为72mm圆形平面溅射阴极靶材利用率低的原因,模拟计算得到靶材表面水平方向Bx和By磁场分布数据,以此为依据设计一种新型的圆形平面溅射磁控靶材,采用塑料绑定的方式... 详细信息
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