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  • 2 篇 期刊文献

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学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 2 篇 碳氟氢薄膜
  • 2 篇 a-c:f:h薄膜
  • 1 篇 光学带隙
  • 1 篇 电子回旋共振化学...
  • 1 篇 chf3/ch4
  • 1 篇 紫外可见光谱
  • 1 篇 红外吸收光谱
  • 1 篇 热退火
  • 1 篇 傅里叶变换红外光...
  • 1 篇 流量比
  • 1 篇 ecr-cnd
  • 1 篇 甲烷
  • 1 篇 结构

机构

  • 2 篇 苏州大学

作者

  • 2 篇 陆新华
  • 2 篇 程珊华
  • 2 篇 甘肇强
  • 2 篇 宁兆元
  • 2 篇 辛煜
  • 1 篇 黄松
  • 1 篇 方亮

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=碳氟氢薄膜"
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不同CHF_3/CH_4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析
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引用
物理学报 2001年 第12期50卷 2492-2496页
作者： 辛煜 宁兆元 甘肇强 陆新华 方亮 程珊华 苏州大学物理系 苏州215006 苏州大学化学系 苏州215006
通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4 CHF3源气体制备a C∶F∶H薄膜 .红外结果表明 ,a C∶F∶H薄膜随着流量比R =[CHF3] [CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变 ,R 6 4%时 ,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯 (PTFE)的结构 ,... 详细信息
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ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N_2气氛中的热退火研究
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引用
物理学报 2002年 第2期51卷 439-443页
作者： 辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 甘肇强 黄松 苏州大学物理系薄膜材料实验室 苏州215006 苏州大学化学系 苏州215006
改变CHF3 CH4源气体流量比 ,使用微波电子回旋共振化学气相沉积方法 (ECR CVD)制备了具有不同C—F键结构的a C :F :H薄膜 ,着重研究了退火对其结构的影响 .结果显示薄膜的厚度及其光学带隙E0 4随退火温度的上升均呈现了不同程度的下降 ... 详细信息
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