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非连续金刚石/Ta基碳化物复合涂层结构及性能
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中国有色金属学报 2023年 第3期33卷 839-849页
作者： 曹锋 高洁 刘红军 王永胜 黑鸿君 于盛旺 刘克昌 太原理工大学材料科学与工程学院 太原030024 尤洛卡精准信息工程股份有限公司 泰安271000 华阳新材料科技集团有限公司 阳泉045000
为提升硬质合金的硬度和耐磨性,改善其与金刚石涂层的结合强度,先用双辉等离子表面合金化技术在其表面制备Ta金属层,再用化学气相沉积法对Ta金属层进行碳化-沉积复合处理,制备出非连续金刚石/Ta基碳化物复合涂层。研究了源极与工件极电... 详细信息
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