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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 硅-玻璃加工
  • 1 篇 微传感器
  • 1 篇 静电键合
  • 1 篇 微机械加工

机构

  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 河北半导体研究所

作者

  • 1 篇 崔战东
  • 1 篇 姚雅红
  • 1 篇 赵彦军
  • 1 篇 吕苗

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=硅-玻璃加工"
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微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术
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引用
半导体技术 1999年 第4期24卷 19-23页
作者： 姚雅红 吕苗 赵彦军 崔战东 清华大学精仪系导航与控制教研室 河北半导体研究所
介绍了硅－玻璃静电键合的基本原理，阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程。结合其在微机械传感器中的应用，讨论了粗糙表面的键合技术。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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