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强激光系统中硅镜变形数值分析

激光技术 1996年第6期20卷 380-384页

作者：夏金安程祖海丘军林华中理工大学激光技术国家实验室

本文运用数值传热学中全隐差分格式交替方向块迭代法，对周边绝热强激光照射非稳态条件下硅镜的温度及挠变形进行了数值模拟，给出了形变随激光功率、光斑直径、镜片直径、镜片厚度以及照射时间等参数的变化规律。

关键词：强激光硅镜挠变形数值模拟

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硅镜轻量化结构优化与实现

机电工程 2009年第6期26卷 28-30,67页

作者：张云电管成成余芳杭州电子科技大学机械工程学院浙江杭州310018

为了保证在高的面形精度的前提下尽可能地降低硅镜的质量,通过对多种轻量化结构的分析与对比,确定了具体轻量化结构形式并对其进行了优化设计。通过计算机仿真分析证明了该优化设计方案的可行性,并采用超声加工方法实现了硅镜轻量化加... 详细信息

为了保证在高的面形精度的前提下尽可能地降低硅镜的质量,通过对多种轻量化结构的分析与对比,确定了具体轻量化结构形式并对其进行了优化设计。通过计算机仿真分析证明了该优化设计方案的可行性,并采用超声加工方法实现了硅镜轻量化加工。试验结果表明:轻量化加工的硅镜镜体质量明显降低;虽然镜面精度有所降低,但仍能满足光学系统的设计要求。

关键词：硅镜轻量化结构优化设计超声加工

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硅镜超声加工声学系统设计

机电工程 2008年第6期25卷 24-26页

作者：张云电余芳杭州电子科技大学机械工程学院浙江杭州310018

近年来,超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工,超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在,其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基础上,给出了该声学系统的具体设计方案,并且专门针对硅镜... 详细信息

近年来,超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工,超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在,其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基础上,给出了该声学系统的具体设计方案,并且专门针对硅镜超声加工声学系统进行了设计及实验。实验结果表明,所设计的声学系统性能比较稳定,换能器发热较少,效率较高。

关键词：硅镜脆硬材料超声加工声学系统

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硅镜超声加工机进给压力的检测与控制系统

机电工程 2009年第1期26卷 74-76页

作者：张云电韩俊慧陈炎余芳杭州电子科技大学机械工程学院浙江杭州310018

超声加工是硅镜加工的有效加工方法,但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎。研究表明,工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因。为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性,采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测,并... 详细信息

超声加工是硅镜加工的有效加工方法,但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎。研究表明,工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因。为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性,采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测,并反馈给控制元件,一旦所检测到的压力超过所设定的额定压力值,控制元件就向执行元件发出执行指令,从而达到控制工具的目的。试验表明,该压力检测与控制系统可以有效地保证对硅镜表面所施加压力的稳定性,从而减少了硅镜在加工过程中出现破裂的情况。

关键词：硅镜压力检测与控制系统超声加工

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激光辐照硅镜的实验研究

激光辐照硅镜的实验研究

第九届全国物理力学学术会议

作者：饶鹏刘文广华卫红国防科学技术大学光电科学与工程学院

激光的反射式传输光路中,由于反射镜面受到激光照射,会发生受热畸变,导致镜面不规则变形,引起光束发生波前畸变。本文通过实验研究了激光辐照硅镜引起的变形,并得到一些结论。

关键词：硅镜热变形哈特曼传感器

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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硅镜热畸变研究

中国激光 1997年第8期24卷 688-692页

作者：张耀宁程祖海库耕李锋朱松林夏金安华中理工大学激光技术国家实验室中国科学院上海光机所

从理论上和实验上对硅镜的热变形的动态过程作了研究。在变形之初硅镜表面的位移变化很快。在注入激光功率为２００Ｗ，硅镜的吸收率为７０％时，７０×８ｍｍ硅镜在注入激光功率２ｓ后热应力引起的挠变形就达到０．７６μｍ。这对于... 详细信息

从理论上和实验上对硅镜的热变形的动态过程作了研究。在变形之初硅镜表面的位移变化很快。在注入激光功率为２００Ｗ，硅镜的吸收率为７０％时，７０×８ｍｍ硅镜在注入激光功率２ｓ后热应力引起的挠变形就达到０．７６μｍ。这对于高功率短波长激光器是一个不容忽视的问题。

关键词：热变形硅镜高功率激光器激光器

高功率CO_2激光作用下硅镜热畸变的动态过程研究

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激光技术 1998年第2期22卷 116-118页

作者：张耀宁库耕张小莉杜泽明程祖海华中理工大学激光技术国家重点实验室

以光学干涉方法，实验研究了在ＣＯ２激光束入射在硅镜上，硅镜热畸变的动态过程。在变形之初，硅镜镜面的位移量变化迅速。对于一面７０ｍｍ，厚８ｍｍ的硅镜，吸收激光功率１４０Ｗ，作用时间４ｓ时最大挠变形０７６μｍ。这对于高... 详细信息

以光学干涉方法，实验研究了在ＣＯ２激光束入射在硅镜上，硅镜热畸变的动态过程。在变形之初，硅镜镜面的位移量变化迅速。对于一面７０ｍｍ，厚８ｍｍ的硅镜，吸收激光功率１４０Ｗ，作用时间４ｓ时最大挠变形０７６μｍ。这对于高功率短波长激光器而言是不可忽略的。

关键词：热畸变高功率激光器硅镜挠变形

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硅镜的激光热变形及补偿

激光与光电子学进展 1996年第7期 64-64页

作者：库耕周云波

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1315nm高反射率硅镜的膜系分析

激光与光电子学进展 2001年第9期38卷 56-56页

作者：彭玉峰程祖海张耀宁周次明杨春华华中科技大学

随着高功率激光器,尤其是化学氧碘激光器(COIL)的不断发展,对激光光学元件的性能要求越来越高.为了满足实际需要,用于COIL的高反射硅镜的反射率应达到99.95%以上,以减少镜面热畸变,提高其抗激光损伤能力.早在十多年前,美国的有关专家就... 详细信息

随着高功率激光器,尤其是化学氧碘激光器(COIL)的不断发展,对激光光学元件的性能要求越来越高.为了满足实际需要,用于COIL的高反射硅镜的反射率应达到99.95%以上,以减少镜面热畸变,提高其抗激光损伤能力.早在十多年前,美国的有关专家就把激光薄膜作为急待解决的关键技术.近年来,国外的强激光薄膜发展很快,1315 nm波长高反射镜的反射率已达99.9%以上,有的甚至达到99.99%.TiO2/SiO2膜系是目前制备高反射镜采用最多的膜系.该膜系比较成熟,制备工艺较为稳定.但该膜系的本征吸收较大,影响到激光损伤阈值的提高.而且材料组合相对较不稳定,峰值波长易受湿度的影响.若采用Si和SiO2做镀膜材料,用于1.0～3.0 μm波长范围,薄膜吸收极小,而且耐久稳定.由于Si在红外区的折射率较高,因此仅需要较少的膜层数、较薄的膜层厚度即可满足设计使用需要,大大提高了镀膜效率.本文利用TFCALC薄膜设计软件对TiO2/SiO2 和Si/SiO2 膜系中心波长为1.315 μm的硅镜反射特性进行了仿真模拟.给出了Si薄膜折射率与基板温度的关系曲线,以及正入射与45°斜入射情况下Si/SiO2 膜系硅镜的反射特性;膜厚控制误差为±10%时,对反射率的影响等.(OH11)

关键词：激光器反射率硅镜膜系